| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-15页 |
| 第1章 绪论 | 第15-36页 |
| ·引言 | 第15-16页 |
| ·PMN-PT 材料简介 | 第16-19页 |
| ·铁电体和铁电薄膜的发展历史 | 第16-17页 |
| ·PMNT 材料的基本特点 | 第17-18页 |
| ·PMN-PT 材料的结构特性 | 第18-19页 |
| ·PMN-PT 薄膜的研究进展 | 第19-23页 |
| ·衬底对PMN-PT 薄膜的影响 | 第19-20页 |
| ·退火工艺对PMN-PT 薄膜的影响 | 第20-21页 |
| ·界面层对PMN-PT 薄膜的影响 | 第21-23页 |
| ·PMN-PT 薄膜的制备方法 | 第23-26页 |
| ·脉冲激光沉积技术 | 第23-24页 |
| ·化学气相沉积法 | 第24页 |
| ·射频磁控溅射法 | 第24-25页 |
| ·溶胶凝胶法 | 第25-26页 |
| ·PMN-PT 薄膜的主要应用 | 第26-35页 |
| ·铁电存储器上的应用 | 第27-29页 |
| ·微机电系统中的应用 | 第29-33页 |
| ·电容器上的应用 | 第33-35页 |
| ·本文主要研究内容 | 第35-36页 |
| 第2章 试验材料及研究方法 | 第36-45页 |
| ·实验材料制备 | 第36-39页 |
| ·靶材的制备 | 第36页 |
| ·衬底 | 第36-37页 |
| ·薄膜沉积设备 | 第37-39页 |
| ·热处理工艺 | 第39页 |
| ·薄膜制备的工艺参数 | 第39-43页 |
| ·射频磁控溅射沉积PMN-PT 薄膜参数 | 第39-41页 |
| ·TiO_2 种子层射频磁控溅射制备参数 | 第41-42页 |
| ·PMN-PT 薄膜脉冲激光沉积参数 | 第42-43页 |
| ·薄膜结构和微观组织分析 | 第43-44页 |
| ·X 射线衍射分析 | 第43页 |
| ·小角X 射线散射分析 | 第43页 |
| ·表面粗糙度原子力显微镜观察 | 第43页 |
| ·表面与断面形貌分析 | 第43-44页 |
| ·薄膜铁电和介电性能测量 | 第44-45页 |
| ·顶电极的沉积 | 第44页 |
| ·薄膜铁电以及介电性能的测量 | 第44-45页 |
| 第3章 射频磁控溅射PMN-PT 薄膜相组成 | 第45-71页 |
| ·引言 | 第45页 |
| ·靶材和衬底的相组成 | 第45-48页 |
| ·靶材的相组成 | 第45-46页 |
| ·衬底的相组成 | 第46-48页 |
| ·Pt 衬底PMN-PT 薄膜的相组成 | 第48-56页 |
| ·溅射气压对PMN-PT 相组成的影响 | 第48-50页 |
| ·退火温度对PMN-PT 薄膜相组成的影响 | 第50-52页 |
| ·退火时间对PMN-PT 薄膜相组成的影响 | 第52-53页 |
| ·薄膜厚度对PMN-PT 薄膜相组成的影响 | 第53-55页 |
| ·靶基距对PMN-PT 薄膜相组成的影响 | 第55-56页 |
| ·二氧化钛种子层的表征 | 第56-58页 |
| ·二氧化钛种子层厚度的表征 | 第56-57页 |
| ·二氧化钛种子层的晶化行为 | 第57-58页 |
| ·二氧化钛种子层对PMN-PT 薄膜相组成的影响 | 第58-70页 |
| ·非晶二氧化钛种子层对PMN-PT 薄膜相组成的影响 | 第58-65页 |
| ·晶化态二氧化钛种子层对PMN-PT 薄膜相组成的影响 | 第65-70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 第4章 脉冲激光沉积PMN-PT 薄膜的相组成 | 第71-91页 |
| ·引言 | 第71页 |
| ·衬底温度对相组成的影响 | 第71-75页 |
| ·衬底温度对无种子层PMN-PT 薄膜相组成的影响 | 第71-72页 |
| ·衬底温度对含种子层PMN-PT 薄膜相组成的影响 | 第72-75页 |
| ·氧气分压对PMN-PT 薄膜相组成的影响 | 第75-77页 |
| ·氧气分压对无种子层PMN-PT 薄膜相组成影响 | 第75-76页 |
| ·氧气分压对含种子层PMN-PT 薄膜相组成影响 | 第76-77页 |
| ·PMN-PT 薄膜的厚度对相组成的影响 | 第77-84页 |
| ·无界面层时PMN-PT 薄膜厚度对相组成的影响 | 第77-79页 |
| ·含种子层的PMN-PT 薄膜厚度对相组成的影响 | 第79-80页 |
| ·厚度对PMN-PT 薄膜织构的影响 | 第80-84页 |
| ·分步退火对PMN-PT 薄膜相组成的影响 | 第84-89页 |
| ·分步退火对无种子层PMN-PT 薄膜相组成的影响 | 第84-86页 |
| ·分步退火对含种子层PMN-PT 薄膜相组成的影响 | 第86-88页 |
| ·分步退火对PMN-PT 薄膜织构的影响 | 第88-89页 |
| ·本章小结 | 第89-91页 |
| 第5章 PMN-PT 薄膜微观组织 | 第91-106页 |
| ·引言 | 第91页 |
| ·PMN-PT 薄膜成分分析 | 第91-92页 |
| ·射频磁控溅射PMN-PT 薄膜组织结构 | 第92-101页 |
| ·溅射气压对PMN-PT 薄膜组织结构的影响 | 第93-95页 |
| ·非晶态二氧化钛种子层对PMN-PT 薄膜组织的影响 | 第95-96页 |
| ·晶化的二氧化钛种子层对PMN-PT 薄膜组织的影响 | 第96-98页 |
| ·PMN-PT 薄膜表面粗糙度AFM 观察 | 第98-101页 |
| ·脉冲激光沉积PMN-PT 薄膜组织结构 | 第101-104页 |
| ·相同厚度条件下，TiO_2 种子层对PMN-PT 薄膜组织的影响 | 第101-103页 |
| ·分步退火条件下，TiO_2 种子层对组织的影响 | 第103-104页 |
| ·本章小结 | 第104-106页 |
| 第6章 PMN-PT 薄膜的电学性能的研究 | 第106-117页 |
| ·引言 | 第106页 |
| ·射频磁控溅射PMN-PT 薄膜的铁电性能 | 第106-108页 |
| ·顶电极退火 | 第106页 |
| ·相组成对PMN-PT 薄膜铁电性能的影响 | 第106-108页 |
| ·脉冲激光沉积PMN-PT 薄膜的铁电性能 | 第108-113页 |
| ·TiO_2 种子层对PMN-PT 薄膜铁电性能的影响 | 第108-109页 |
| ·厚度对PMN-PT 薄膜铁电性能的影响 | 第109-112页 |
| ·分步退火对带有 TiO_2 种子层 PMN-PT 薄膜铁电性能的影响 | 第112-113页 |
| ·PMN-PT 薄膜介电性能研究 | 第113-116页 |
| ·本章小结 | 第116-117页 |
| 结论 | 第117-119页 |
| 参考文献 | 第119-133页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第133-135页 |
| 致谢 | 第135-136页 |
| 个人简历 | 第136页 |
