单晶蓝宝石的延性研磨加工研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-24页 |
| ·研究背景及意义 | 第10页 |
| ·单晶蓝宝石加工的研究状况 | 第10-12页 |
| ·晶体各向异性产生的原理 | 第12-14页 |
| ·晶向的定义及表示方法 | 第12-13页 |
| ·晶面的定义及表示方法 | 第13-14页 |
| ·各向异性对超精密加工的影响 | 第14-17页 |
| ·国外研究现状 | 第14-16页 |
| ·国内研究现状 | 第16-17页 |
| ·超精细加工技术 | 第17-21页 |
| ·蓝宝石各向异性的基本特征 | 第21-22页 |
| ·本文的主要工作 | 第22-24页 |
| 第2章 研磨机的振动模态分析 | 第24-37页 |
| ·引言 | 第24页 |
| ·模态分析的基本理论 | 第24-26页 |
| ·研磨机底盘模态分析 | 第26-30页 |
| ·研磨机底盘有限元建模 | 第26-27页 |
| ·加载并求解 | 第27页 |
| ·模态分析结果及讨论 | 第27-30页 |
| ·研磨机工况模态分析 | 第30-36页 |
| ·模态实验测试系统及主要实验装置 | 第30-31页 |
| ·测试点布置和通道的设置 | 第31-33页 |
| ·试验结果 | 第33-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第3章 蓝宝石的延性研磨研究 | 第37-87页 |
| ·引言 | 第37页 |
| ·延性研磨试验准备 | 第37-51页 |
| ·实验方案 | 第37-38页 |
| ·研磨盘的制造 | 第38-40页 |
| ·卡紧实验结果 | 第40-51页 |
| ·蓝宝石延性研磨实验 | 第51-78页 |
| ·工艺参数的确定 | 第51-53页 |
| ·蓝宝石研磨实验 | 第53-78页 |
| ·各向异性蓝宝石衬底研磨实验研究 | 第78-86页 |
| ·实验方案设计 | 第78-79页 |
| ·实验材料与实验过程 | 第79-81页 |
| ·实验结果与讨论 | 第81-86页 |
| ·本章小结 | 第86-87页 |
| 第4章 蓝宝石衬底的损伤研究 | 第87-100页 |
| ·引言 | 第87页 |
| ·纳米压痕测量 | 第87-93页 |
| ·测量原理 | 第87-88页 |
| ·蓝宝石纳米压痕的测量实验 | 第88-89页 |
| ·纳米压痕试验结果 | 第89-93页 |
| ·蓝宝石的TEM 测试 | 第93-99页 |
| ·TEM 测试原理 | 第93-94页 |
| ·TEM 制样 | 第94-95页 |
| ·TEM 测试结果 | 第95-99页 |
| ·本章小结 | 第99-100页 |
| 第5章 结论与展望 | 第100-102页 |
| ·结论 | 第100-101页 |
| ·展望 | 第101-102页 |
| 参考文献 | 第102-105页 |
| 致谢 | 第105-106页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文目录 | 第106页 |
