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导模共振可调谐滤光片的设计和制备

中文摘要第6-8页
ABSTRACT第8-9页
第一章 绪论第13-23页
    1.1 亚波长结构的研究概况第13-14页
    1.2 亚波长衍射光栅第14-16页
        1.2.1 衍射光栅的工作状态分类第14-15页
        1.2.2 亚波长光栅的应用第15-16页
    1.3 基于亚波长光栅的导模共振现象第16-19页
    1.4 导模共振效应的理论研究进展第19-20页
    1.5 导模共振器件的设计及应用进展第20-21页
    1.6 本文的研究内容第21-23页
第二章 亚波长光栅结构的数值分析方法第23-44页
    2.1 严格耦合波理论第23-35页
        2.1.1 麦克斯韦方程及波动方程第23-26页
        2.1.2 矩形光栅结构的耦合波分析—TE偏振波入射第26-29页
        2.1.3 矩形光栅结构的耦合波分析—TM偏振波入射第29-31页
        2.1.4 入射平面与光栅槽的夹角为任意值时的衍射第31-35页
    2.2 亚波长光栅的等效介质理论第35-43页
        2.2.1 亚波长光栅的零级衍射条件第35-36页
        2.2.2 等效介质理论的一阶近似第36-38页
        2.2.3 等效介质理论的二阶近似第38-43页
    2.3 本章小结第43-44页
第三章 导模共振效应的原理及特性第44-65页
    3.1 导模共振效应的原理第44-46页
    3.2 导模共振结构的等效波导模型第46-54页
        3.2.1 单层周期性波导的分析第46-48页
        3.2.2 多层周期性波导的分析第48-50页
        3.2.3 共振发生区域第50-51页
        3.2.4 非亚波长导模共振结构第51-54页
    3.3 导模共振结构参数对的光谱响应的影响第54-64页
        3.3.1 光栅参数对光谱响应的影响第54-56页
        3.3.2 波导层参数对光谱响应的影响第56-58页
        3.3.3 覆盖层折射率对光谱响应的影响第58-59页
        3.3.4 滤波带宽的控制第59-61页
        3.3.5 旁带反射率的抑制第61-64页
    3.4 本章小结第64-65页
第四章 导模共振滤光片的制备第65-83页
    4.1 两种典型的导模共振滤光片第65-67页
    4.2 基片预处理及镀膜第67-70页
        4.2.1 基片预处理工艺第68页
        4.2.2 镀膜工艺及薄膜检测第68-70页
    4.3 光刻胶膜层的制备工艺第70-73页
        4.3.1 光刻胶的涂覆第71-72页
        4.3.2 光刻胶膜层的前烘与检测第72-73页
    4.4 全息干涉曝光工艺第73-78页
        4.4.1 全息曝光系统第74-75页
        4.4.2 干涉条纹的对比度第75-76页
        4.4.3 全息曝光量的监测第76-78页
        4.4.4 基底背面的消反射处理第78页
    4.5 显影第78-79页
        4.5.1 显影工艺第78-79页
        4.5.2 后烘第79页
    4.6 离子束刻蚀第79-80页
    4.7 导模共振滤光片的检测第80-82页
    4.8 本章小结第82-83页
第五章 带宽可调导模共振滤光片第83-102页
    5.1 入射光偏振态对光谱响应的影响第83-84页
    5.2 透射式带宽可调滤光片第84-94页
        5.2.1 透射光谱的滤波带宽可变原理第84-86页
        5.2.2 扭曲向列相型液晶(TN-LC)的电光效应第86-87页
        5.2.3 电控带宽可调滤光片的工作原理第87-89页
        5.2.4 器件制作和检测第89-93页
        5.2.5 带宽变化范围的调整第93-94页
    5.3 反射式带宽可调滤光片第94-101页
        5.3.1 偏振无关导模共振滤光片的光谱特性第94-96页
        5.3.2 电控带宽可调滤光片第96-97页
        5.3.3 器件的制作和检测第97-100页
        5.3.4 带宽变化范围的调整第100-101页
    5.4 本章小结第101-102页
第六章 峰值可调谐的导模共振滤光片第102-116页
    6.1 导模共振峰值可调滤光片的研究进展第102-103页
    6.2 基于楔形波导的可调谐滤光片第103-110页
        6.2.1 离子束刻蚀制备楔形薄膜第104-108页
        6.2.2 光栅的制备和检测第108-109页
        6.2.3 三角形挡板顶角大小的影响第109-110页
    6.3 入射角调谐的导模共振彩色滤光片第110-114页
        6.3.1 倾斜入射角时的峰值移动第110-112页
        6.3.2 可调谐彩色滤光片的制作第112-114页
    6.4 本章小结第114-116页
第七章 总结与展望第116-118页
    7.1 论文的创新点与成果第116页
    7.2 研究展望第116-118页
参考文献第118-129页
在读期间公开发表的论文和参与科研项目及取得成果第129-131页
致谢第131页

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