| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第8-16页 |
| 1.1 研究背景及研究意义 | 第8-9页 |
| 1.2 国内外研究水平与趋势 | 第9-14页 |
| 1.3 论文主要研究内容以及论文结构 | 第14-16页 |
| 2 新型高精度光栅测量系统设计 | 第16-24页 |
| 2.1 DVD读取头工作原理 | 第16-18页 |
| 2.1.1 DVD读取头结构 | 第16页 |
| 2.1.2 DVD读取头聚焦方式 | 第16-17页 |
| 2.1.3 DVD读取头工作原理 | 第17-18页 |
| 2.2 新型高精度光栅测量系统整体方案设计 | 第18-20页 |
| 2.2.1 硬件电路部分 | 第19页 |
| 2.2.2 光路部分 | 第19-20页 |
| 2.2.3 测量系统实物 | 第20页 |
| 2.3 关键设备和技术 | 第20-22页 |
| 2.3.1 NI-crio 9066控制器 | 第20-22页 |
| 2.3.2 PI Hera精密位移台 | 第22页 |
| 2.4 系统测量工作流程 | 第22页 |
| 2.5 系统动态测量误差值的预测及修正 | 第22-23页 |
| 2.6 本章小结 | 第23-24页 |
| 3 新型高精度光栅测量系统调试及测量结果 | 第24-30页 |
| 3.1 概述 | 第24-25页 |
| 3.2 电路调试 | 第25页 |
| 3.2.1 带通滤波电路 | 第25页 |
| 3.2.2 FES值计算电路 | 第25页 |
| 3.3 获取FES曲线 | 第25-28页 |
| 3.4 测量结果 | 第28-29页 |
| 3.5 本章小结 | 第29-30页 |
| 4 动态测量误差建模预测 | 第30-46页 |
| 4.1 基于支持向量机的动态测量误差建模预测 | 第31-34页 |
| 4.1.1 支持向量机 | 第31-32页 |
| 4.1.2 核函数 | 第32-34页 |
| 4.2 基于PSO-SVM的动态测量误差建模预测 | 第34-37页 |
| 4.2.1 PSO算法 | 第34-36页 |
| 4.2.2 基于PSO-SVM的动态测量误差预测模型 | 第36-37页 |
| 4.3 基于NAPSO-SVM的动态测量误差建模预测 | 第37-44页 |
| 4.3.1 NAPSO算法 | 第37-40页 |
| 4.3.2 NAPSO算法的性能测试 | 第40-43页 |
| 4.3.3 基于NAPSO-SVM的动态测量误差预测模型 | 第43-44页 |
| 4.4 本章小结 | 第44-46页 |
| 5 高精度光栅测量系统动态测量误差建模预测及修正 | 第46-52页 |
| 5.1 高精度光栅测量系统动态测量误差建模预测 | 第46-50页 |
| 5.1.1 建模预测步骤 | 第46页 |
| 5.1.2 评价指标 | 第46-47页 |
| 5.1.3 参数设置 | 第47页 |
| 5.1.4 预测结果及结果分析 | 第47-50页 |
| 5.2 高精度光栅测量系统动态测量误差修正 | 第50-51页 |
| 5.3 本章小结 | 第51-52页 |
| 6 总结与展望 | 第52-54页 |
| 6.1 总结 | 第52-53页 |
| 6.2 展望 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-57页 |
| 攻读学位期间取得的研究成果 | 第57-59页 |
| 致谢 | 第59-61页 |
