ZnO和AZO薄膜的制备及特性研究

摘要	第1-7页
Abstract	第7-11页
第1章 绪论	第11-25页
·研究背景	第11-13页
·ZnO晶体结构	第13-15页
·ZnO薄膜的特性及应用	第15-19页
·ZnO薄膜的国内外研究进展	第19-23页
·课题研究的内容、目的及意义	第23-24页
·课题研究的创新点	第24-25页
第2章 实验方法与原理	第25-37页
·ZnO气相生长方法	第25-28页
·ZnO液相生长方法	第28-32页
·溶胶-凝胶法(Sol-gel)原理	第28-30页
·反胶束微乳液法的原理	第30-32页
·实验分析技术及基本原理	第32-37页
第3章 AZO薄膜的制备及特性研究	第37-55页
·实验用品的准备	第38-39页
·前驱溶胶的配制	第39-40页
·旋转涂膜及热处理过程	第40-43页
·AZO薄膜的分析表征	第43-53页
·多晶AZO薄膜的结构分析	第43-47页
·AZO薄膜的表面形貌分析	第47-48页
·AZO薄膜的光学特性研究	第48-51页
·AZO薄膜的透光率与膜厚的关系	第48-49页
·AZO薄膜的光学禁带宽度随厚度的变化	第49-51页
·AZO薄膜的电学特性	第51-53页
·本章小结	第53-55页
第4章 A轴取向ZnO薄膜的制备及生长机制研究	第55-71页
·A轴择优取向的ZnO薄膜的制备过程	第55-58页
·异丙醇(IPA)量的确定	第55-57页
·反胶束微乳液的配置	第57页
·薄膜沉积与热处理	第57-58页
·Zn(AC)_2·2H_2O的差热-热重分析	第58页
·薄膜制备工艺参数的影响	第58-64页
·预热温度的影响	第59-60页
·热处理温度的选择	第60-61页
·Zn~(2+)浓度的影响	第61-62页
·薄膜厚度的影响	第62-64页
·ZnO薄膜的A轴取向生长机制与原理	第64-70页
·ZnO薄膜的A轴取向生长原理	第64-67页
·A轴取向生长原理的验证	第67-70页
·本章小结	第70-71页
第5章 结论	第71-73页
参考文献	第73-79页
致谢	第79页