| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-22页 |
| ·阳极键合的概念和研究进展 | 第9-13页 |
| ·阳极键合技术的应用 | 第13-16页 |
| ·玻璃与硅、玻璃间的连接. | 第14-15页 |
| ·玻璃与金属和合金间的连接 | 第15页 |
| ·运用阳极键合技术实现玻璃、硅与金属的多层连接 | 第15-16页 |
| ·阳极键合过程中需要解决的问题. | 第16-17页 |
| ·关于阳极键合机理的研究. | 第16-17页 |
| ·改进工艺方法 | 第17页 |
| ·溶胶-凝胶法制备有机-无机杂化膜的研究 | 第17-20页 |
| ·本研究主要内容和学术思想. | 第20-22页 |
| 第二章 试验部分 | 第22-25页 |
| ·试验所用材料 | 第22-23页 |
| ·试验用硼硅玻璃 | 第22页 |
| ·试验用铝材料 | 第22-23页 |
| ·溶胶-凝胶用材料 | 第23页 |
| ·试验设备及测试方法 | 第23-25页 |
| 第三章 阳极键合反应电源的研制 | 第25-36页 |
| ·高压脉动电源的设计 | 第26-32页 |
| ·可调式直流高压电源基本工作原理 | 第27-29页 |
| ·脉冲控制电路的控制原理 | 第29-31页 |
| ·脉动发生器调制电路介绍 | 第31页 |
| ·数据采集及显示电路原理 | 第31-32页 |
| ·温控加热装置的设计 | 第32-33页 |
| ·电源的设计 | 第33-36页 |
| 第四章 玻璃和铝的多层晶片的键合试验 | 第36-48页 |
| ·公共阳极法键合玻璃-铝箔-玻璃试验过程 | 第36-38页 |
| ·试样的前期准备 | 第36页 |
| ·键合试验过程 | 第36-38页 |
| ·试验结果及其分析 | 第38-42页 |
| ·电流特征 | 第38-40页 |
| ·键合因素的影响 | 第40-42页 |
| ·键合界面的微观组织分析 | 第42-44页 |
| ·键合机理 | 第44-46页 |
| ·力学性能测试 | 第46-48页 |
| 第五章 溶胶-凝胶法制备 Si0_2-Na_2O-AlO 薄膜 | 第48-55页 |
| ·溶胶-凝胶涂层的制备试验 | 第48-51页 |
| ·溶胶-凝胶法试样基体的预处理 | 第48页 |
| ·溶胶的制备 | 第48-49页 |
| ·在基体材料上形成涂层 | 第49页 |
| ·涂层的干燥和烧结固化 | 第49-51页 |
| ·试验结果的分析 | 第51-55页 |
| ·采用不同前驱体制备溶胶-凝胶层的涂层性能. | 第51-52页 |
| ·SiO_2-Na_2O-AlO 薄膜界面结构分析 | 第52-55页 |
| 结论 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 攻读硕士期间发表的论文及研究成果 | 第62页 |