| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-30页 |
| 1.1 引言 | 第10-11页 |
| 1.2 太阳能电池发展状况 | 第11-13页 |
| 1.3 晶体硅太阳能电池工作原理和制备工艺 | 第13-23页 |
| 1.3.1 晶硅太阳能电池器件结构 | 第14-15页 |
| 1.3.2 晶硅太阳能电池工作原理 | 第15-18页 |
| 1.3.3 晶硅太阳能电池的主要参数 | 第18-20页 |
| 1.3.4 晶硅太阳能电池制备工艺 | 第20-23页 |
| 1.4 晶体硅太阳能电池制绒 | 第23-26页 |
| 1.4.1 单晶硅太阳能电池制绒工艺 | 第23-25页 |
| 1.4.2 多晶硅太阳能电池制绒工艺 | 第25-26页 |
| 1.5 金属催化刻蚀制备黑硅的发展历史 | 第26-28页 |
| 1.6 本文研究的内容及意义 | 第28-30页 |
| 第2章 实验仪器和研究方法 | 第30-37页 |
| 2.1 湿法刻蚀机 | 第30-31页 |
| 2.2 等离子体增强化学气相沉积系统(PECVD) | 第31-32页 |
| 2.3 样品表征技术 | 第32-37页 |
| 2.3.1 表面形貌,成分分析仪 | 第32-33页 |
| 2.3.2 四探针仪 | 第33-34页 |
| 2.3.3 紫外-可见-近红外分光光度计 | 第34-35页 |
| 2.3.4 光伏Ⅳ曲线测试技术 | 第35页 |
| 2.3.5 量子效率测试技术(QE) | 第35-37页 |
| 第3章 铜催化各向异性刻蚀制备倒金字塔结构的研究与应用 | 第37-68页 |
| 3.1 引言 | 第37-38页 |
| 3.2 碱性溶液的各向异性刻蚀 | 第38-41页 |
| 3.2.1 KOH溶液 | 第38-39页 |
| 3.2.2 碱的各向异性刻蚀 | 第39-41页 |
| 3.3 铜催化各向异性刻蚀的机理研究 | 第41-60页 |
| 3.3.1 正金字塔结构的形成 | 第41-43页 |
| 3.3.2 铜催化刻蚀制备倒金字塔结构的机理研究 | 第43-60页 |
| 3.4 倒金字塔PERC太阳能电池的制备工艺 | 第60-62页 |
| 3.5 倒金字塔PERC太阳能电池的性能表征及分析 | 第62-66页 |
| 3.6 本章小结 | 第66-68页 |
| 第4章 铜银共催化刻蚀制备倒四棱锥结构的研究 | 第68-92页 |
| 4.1 引言 | 第68-73页 |
| 4.2 铜银共催化刻蚀制备倒四棱锥结构的机理 | 第73-81页 |
| 4.3 倒四棱锥结构的形貌调控 | 第81-90页 |
| 4.3.1 刻蚀时间对形貌的影响 | 第81-83页 |
| 4.3.2 不同HF/(HF+H_2O_2)体积比对形貌的影响 | 第83-85页 |
| 4.3.3 不同的铜银比例对形貌的影响 | 第85-87页 |
| 4.3.4 可控的倒四棱锥结构制备 | 第87-90页 |
| 4.4 本章小结 | 第90-92页 |
| 第5章 倒四棱锥结构在金刚线切多晶硅上的应用 | 第92-101页 |
| 5.1 引言 | 第92页 |
| 5.2 高效倒四棱锥结构多晶硅电池的制备工艺 | 第92-93页 |
| 5.3 高效倒四棱锥结构多晶硅电池的性能表征及分析 | 第93-98页 |
| 5.4 倒四棱锥结构的产业化应用 | 第98-100页 |
| 5.5 本章小结 | 第100-101页 |
| 第6章 结论和展望 | 第101-103页 |
| 参考文献 | 第103-112页 |
| 个人简历及发表文章目录 | 第112-115页 |
| 致谢 | 第115-116页 |
