PLD方法制备ZnO薄膜及其结构和光学性能分析

摘要	第4-5页
Abstract	第5页
1 引言	第8-12页
1．1 ZnO材料及激光脉冲沉积方法	第8-9页
1．2 国内外研究现状	第9-11页
1．3 本人所作的工作	第11-12页
2 实验过程与薄膜测试	第12-16页
2．1 脉冲激光沉积系统	第12-13页
2．2 衬底的选择与样品预处理	第13-14页
2．3 生长过程	第14-15页
2．4 样品测试	第15-16页
3 ZnO薄膜的晶体结构和光学性能研究	第16-34页
3．1 不同温度下的ZnO薄膜	第16-20页
3．1．1 XRD分析	第16-19页
3．1．2 荧光谱分析	第19-20页
3．2 不同频率下的ZnO薄膜	第20-22页
3．2．1 XRD分析	第20-21页
3．2．2 荧光谱的分析	第21-22页
3．3 不同氧压下的ZnO薄膜	第22-26页
3．3．1 XRD分析	第22-24页
3．3．2 荧光谱分析	第24-25页
3．3．3 ZnO薄膜发光机理	第25-26页
3．4 电子探针对有氧和无氧ZnO薄膜的成分分析	第26页
3．5 AFM形貌分析	第26-27页
3．6 用台阶仪测量薄膜厚度	第27页
3．7 RHEED原位检测	第27-29页
3．8 SEM形貌分析	第29页
3．9 与热氧化法制备ZnO薄膜的比较	第29-34页
3．9．1 形貌比较	第29-30页
3．9．2 晶体结构的比较	第30-31页
3．9．3 荧光光谱的比较	第31-33页
3．9．4 两种方法发光机理讨论	第33-34页
结论	第34-36页
参考文献	第36-40页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况	第40-42页
致谢	第42-43页
大连理工大学学位论文版权使用授权书	第43页