| 摘要 | 第6-8页 |
| ABSTRACT | 第8-9页 |
| 第一章 绪论 | 第10-28页 |
| 1.1 引言 | 第10页 |
| 1.2 局域表面等离子体共振效应(LSPR) | 第10-14页 |
| 1.2.1 LSPR产生的物理机理 | 第10-12页 |
| 1.2.2 影响LSPR效应的因素 | 第12-14页 |
| 1.3 贵金属纳米粒子的制备方法 | 第14-16页 |
| 1.3.1 液相化学还原法 | 第15-16页 |
| 1.3.2 气相沉积法与蚀刻技术法 | 第16页 |
| 1.4 LSPR效应的应用 | 第16-20页 |
| 1.4.1 生物传感器 | 第16-18页 |
| 1.4.2 表面增强拉曼散射(SERS) | 第18-19页 |
| 1.4.3 表面增强荧光光谱(SEFS) | 第19-20页 |
| 1.5 DLC膜的组成与结构 | 第20-21页 |
| 1.6 DLC膜的生长机理与制备方法 | 第21-24页 |
| 1.6.1 DLC膜的生长机理 | 第21-22页 |
| 1.6.2 DLC膜的制备方法 | 第22-24页 |
| 1.7 DLC膜的性质与应用 | 第24-26页 |
| 1.7.1 DLC膜的力学性能、机械性能及其应用 | 第24-25页 |
| 1.7.2 DLC膜的光学性能与应用 | 第25页 |
| 1.7.3 DLC膜在生物医学上的应用 | 第25-26页 |
| 1.8 DLC膜应用研究中存在的问题 | 第26-27页 |
| 1.9 本文的研究内容和研究意义 | 第27-28页 |
| 第二章 实验方法与原理 | 第28-36页 |
| 2.1 银纳米粒子的制备与表征 | 第28-29页 |
| 2.1.1 实验材料 | 第28页 |
| 2.1.2 银纳米粒子的制备 | 第28-29页 |
| 2.1.3 银纳米粒子的表征方法 | 第29页 |
| 2.2 在玻璃基板上沉积DLC碳膜 | 第29-30页 |
| 2.2.1 实验材料 | 第29页 |
| 2.2.2 DLC薄膜的制备 | 第29-30页 |
| 2.3 射频等离子体增强化学气相沉积设备及其原理 | 第30-33页 |
| 2.3.1 射频等离子体增强化学气相沉积的工作原理 | 第30-32页 |
| 2.3.2 射频等离子体增强化学气相沉积的主要工艺参数 | 第32-33页 |
| 2.4 DLC膜的制备工艺 | 第33-35页 |
| 2.4.1 沉积DLC膜的操作过程 | 第33-34页 |
| 2.4.2 DLC膜的制备工艺参数 | 第34-35页 |
| 2.5 DLC膜的表征方法 | 第35-36页 |
| 第三章 金银纳米粒子沉积厚DLC膜的性能分析 | 第36-38页 |
| 3.1 金银纳米粒子的SEM形貌分析 | 第36页 |
| 3.2 沉积DLC膜前后金银纳米粒子的LSPR性能 | 第36-37页 |
| 3.3 红移量与沉积时间的关系 | 第37-38页 |
| 第四章 超簿DLC膜的制备工艺 | 第38-46页 |
| 4.1 DLC膜厚度分析 | 第38-39页 |
| 4.2 超薄DLC膜的形貌与粗糙度分析 | 第39-42页 |
| 4.2.1 不同气体流量DLC膜的AFM形貌 | 第39-40页 |
| 4.2.2 不同气体流量和沉积时间DLC膜的AFM形貌 | 第40-41页 |
| 4.2.3 不同沉积时间DLC膜的AFM形貌 | 第41-42页 |
| 4.3 DLC膜的XPS分析 | 第42-44页 |
| 4.4 DLC膜的透过率的摩擦性能分析 | 第44-46页 |
| 第五章 沉积薄DLC膜的银纳米粒子的LSPR性能 | 第46-60页 |
| 5.1 沉积薄DLC膜后的LSPR性能研究 | 第46-52页 |
| 5.1.1 沉积DLC膜后银纳米粒子的SEM形貌图和AFM形貌图 | 第46-47页 |
| 5.1.2 银纳米粒子沉积薄DLC膜后的拉曼光谱和XPS分析 | 第47-50页 |
| 5.1.3 银纳米粒子沉积薄DLC膜后的紫外可见光谱及其灵敏度 | 第50-52页 |
| 5.2 不同沉积条件下新LSPR界面的性能 | 第52-54页 |
| 5.2.1 沉积DLC膜后银纳米粒子的AFM形貌图 | 第52-53页 |
| 5.2.2 银纳米粒子沉积DLC膜后的拉曼光谱分析 | 第53页 |
| 5.2.3 银纳米粒子沉积DLC膜后的灵敏度 | 第53-54页 |
| 5.2.4 不同沉积条件下样品的灵敏度 | 第54页 |
| 5.3 不同粒径银纳米粒子沉积DLC膜后的LSPR性能 | 第54-58页 |
| 5.3.1 银纳米粒子的SEM形貌和AFM形貌 | 第54-55页 |
| 5.3.2 银纳米粒子沉积DLC膜后的拉曼光谱分析与XPS分析 | 第55-57页 |
| 5.3.3 沉积DLC膜后新LSPR界面的灵敏度 | 第57-58页 |
| 5.4 本章小结 | 第58-60页 |
| 第六章 红移量度的关系及长程传感器的可行性分析 | 第60-68页 |
| 6.1 红移量与DLC膜沉积时间的关系 | 第60-61页 |
| 6.2 金属介电常数的影响因素 | 第61-62页 |
| 6.3 薄膜厚度对透射光电磁场强度的影响 | 第62-65页 |
| 6.4 长程传感器的物理机理 | 第65-66页 |
| 6.5 共振增强LSPR效应 | 第66-68页 |
| 第七章 结论 | 第68-70页 |
| 7.1 本文结论 | 第68页 |
| 7.2 本文主要创新点 | 第68-69页 |
| 7.3 对进一步研究的建议 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第78页 |
| 攻读学位期间参加的科研项目 | 第78-79页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第79页 |
