| 中文摘要 | 第3-5页 |
| 英文摘要 | 第5-7页 |
| 1 绪论 | 第10-28页 |
| 1.1 引言 | 第10-11页 |
| 1.2 集成电路用高纯金属和合金互联线及溅射靶材概述 | 第11-18页 |
| 1.2.1 超高纯金属及合金互连线靶材材料的应用与发展 | 第11-16页 |
| 1.2.2 超高纯铜及合金靶材微观结构与性能 | 第16-17页 |
| 1.2.3 超高纯铜及合金靶材的制备及加工工艺 | 第17-18页 |
| 1.3 形变及再结晶织构理论基础 | 第18-23页 |
| 1.4 铜及铜合金织构与加工工艺对铜合金塑性变形行为与织构的影响 | 第23-24页 |
| 1.4.1 铜及铜合金的轧制织构 | 第23页 |
| 1.4.2 铜及铜合金的再结晶织构 | 第23-24页 |
| 1.4.3 加工工艺对铜合金织构的影响 | 第24页 |
| 1.5 课题研究目的意义、主要内容 | 第24-28页 |
| 2 实验材料及方法手段 | 第28-36页 |
| 2.1 试样制备过程 | 第28-34页 |
| 2.1.1 试验使用的材料 | 第28页 |
| 2.1.2 课题技术路线 | 第28-30页 |
| 2.1.3 均匀性研究交叉轧制 | 第30-32页 |
| 2.1.4 单向轧制与交叉轧制对照实验 | 第32-34页 |
| 2.2 检测与分析 | 第34-35页 |
| 2.2.1 显微硬度测试 | 第34页 |
| 2.2.2 金相组织观察 | 第34页 |
| 2.2.3 X 射线衍射（XRD） | 第34-35页 |
| 2.3 本章小结 | 第35-36页 |
| 3 高纯铜锰合金变形及退火过程中组织结构及织构演变 | 第36-64页 |
| 3.1 引言 | 第36页 |
| 3.2 原始样品组织和织构 | 第36-37页 |
| 3.3 变形过程中组织与织构变化 | 第37-52页 |
| 3.3.1 单向轧制过程中组织变化 | 第37-39页 |
| 3.3.2 单向轧制过程中织构变化 | 第39-43页 |
| 3.3.3 单向轧制下不同退火温度后的微观组织结构与织构演变 | 第43-50页 |
| 3.3.4 单向轧制下不同退火时间的微观组织结构与织构演变 | 第50-52页 |
| 3.4 交叉轧制过程中的微观组织与织构变化 | 第52-62页 |
| 3.4.1 交叉轧制过程中组织变化： | 第52-54页 |
| 3.4.2 交叉轧制过程中织构演变 | 第54-56页 |
| 3.4.3 交叉轧制下不同退火温度后的微观组织结构与织构演变 | 第56-60页 |
| 3.4.4 交叉轧制下不同退火时间的微观组织结构与织构演变 | 第60-62页 |
| 3.5 本章小结 | 第62-64页 |
| 4 交叉轧制过程中微观组织及织构演变的均匀性研究 | 第64-82页 |
| 4.1 均匀性研究交叉轧制微观组织与织构演变 | 第64-70页 |
| 4.1.1 均匀性研究交叉轧制微观组织变化 | 第64-66页 |
| 4.1.2 均匀性研究交叉轧制织构变化 | 第66-70页 |
| 4.2 交叉轧制下不同退火温度后的微观组织结构与织构演变 | 第70-77页 |
| 4.3 交叉轧制下不同退火时间的微观组织结构与织构演变 | 第77-80页 |
| 4.4 本章小结 | 第80-82页 |
| 5 结论 | 第82-84页 |
| 致谢 | 第84-86页 |
| 参考文献 | 第86-90页 |
