| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第12-41页 |
| 1.1 引言 | 第12-13页 |
| 1.2 飞秒激光加工的基本特点和优势 | 第13-17页 |
| 1.3 典型飞秒激光微/纳加工方法与应用 | 第17-18页 |
| 1.4 时域整形飞秒激光微纳加工的研究进展 | 第18-38页 |
| 1.4.1 时域整形飞秒激光微纳加工绝缘体 | 第20-31页 |
| 1.4.2 时域整形飞秒激光微纳加工半导体 | 第31-34页 |
| 1.4.3 时域整形飞秒激光微纳加工金属 | 第34-38页 |
| 1.5 本课题的研究意义及内容 | 第38-41页 |
| 1.5.1 研究意义 | 第38-39页 |
| 1.5.2 主要研究内容 | 第39-41页 |
| 第2章 时域整形飞秒激光加工的理论基础与实验系统设计 | 第41-61页 |
| 2.1 飞秒激光与材料相互作用概述 | 第41-45页 |
| 2.1.1 光吸收过程—光子与电子的相互作用 | 第43-44页 |
| 2.1.2 材料相变过程—电子与离子的相互作用 | 第44页 |
| 2.1.3 等离子体膨胀和辐射过程 | 第44-45页 |
| 2.2 典型激发/电离过程与模型描述 | 第45-52页 |
| 2.2.1 电子激发 | 第45-48页 |
| 2.2.2 光学响应 | 第48-52页 |
| 2.3 时域整形脉冲加工的实验系统设计 | 第52-60页 |
| 2.3.1 实验系统简介 | 第53-56页 |
| 2.3.2 双脉冲的产生 | 第56-59页 |
| 2.3.3 单脉冲的复原 | 第59-60页 |
| 2.4 本章小结 | 第60-61页 |
| 第3章 时域整形飞秒激光加工宽禁带材料的理论和实验研究 | 第61-94页 |
| 3.1 理论模型改进的基础 | 第61-66页 |
| 3.1.1 模型建立的背景 | 第62-64页 |
| 3.1.2 模型建立的依据 | 第64-66页 |
| 3.2 改进模型的建立 | 第66-76页 |
| 3.2.1 电子激发的描述 | 第66-73页 |
| 3.2.2 光学响应的描述 | 第73-74页 |
| 3.2.3 烧蚀的理论判定 | 第74-76页 |
| 3.3 改进模型的应用 | 第76-84页 |
| 3.3.1 单脉冲加工阈值 | 第76页 |
| 3.3.2 预脉冲作用后加工阈值 | 第76-77页 |
| 3.3.3 双脉冲与三脉冲加工阈值 | 第77-78页 |
| 3.3.4 成因起源分析 | 第78-82页 |
| 3.3.5 重要争议点的影响 | 第82-84页 |
| 3.4 实验研究 | 第84-93页 |
| 3.4.1 改进模型的实验验证 | 第84-89页 |
| 3.4.2 改进模型的进一步发展 | 第89-93页 |
| 3.5 本章小结 | 第93-94页 |
| 第4章 时域整形飞秒激光调控金属材料加工尺寸和形貌的实验和理论研究 | 第94-116页 |
| 4.1 飞秒激光双脉冲加工金属镍 | 第94-104页 |
| 4.1.1 单点（single shot）双脉冲阈值 | 第94-99页 |
| 4.1.2 单点（single shot）双脉冲的烧蚀增强 | 第99-101页 |
| 4.1.3 多点（multiple shots）双脉冲的烧蚀增强 | 第101-104页 |
| 4.2 飞秒激光双脉冲加工其他金属 | 第104-108页 |
| 4.2.1 飞秒激光双脉冲加工铜 | 第105-106页 |
| 4.2.2 飞秒激光双脉冲加工钛 | 第106-108页 |
| 4.3 飞秒激光双脉冲加工金属的理论研究 | 第108-114页 |
| 4.3.1 改进的双温度模型 | 第108-113页 |
| 4.3.2 理论计算 | 第113-114页 |
| 4.4 本章小结 | 第114-116页 |
| 结论与展望 | 第116-119页 |
| 结论 | 第116页 |
| 展望 | 第116-119页 |
| 参考文献 | 第119-130页 |
| 攻读学位期间发表的论文与研究成果清单 | 第130-132页 |
| 致谢 | 第132-133页 |
| 作者简介 | 第133页 |
