| 致谢 | 第9-10页 |
| 摘要 | 第10-12页 |
| ABSTRACT | 第12-14页 |
| 第一章 绪论 | 第23-37页 |
| 1.1 研究目的和意义 | 第23-24页 |
| 1.2 纳米测量技术简介 | 第24页 |
| 1.3 微纳米三坐标测量机测头的研究进展 | 第24-35页 |
| 1.3.1 微纳米三坐标测量机测头要求和分类 | 第24-25页 |
| 1.3.2 接触式测头研究进展 | 第25-31页 |
| 1.3.3 非接触式测头研究进展 | 第31-32页 |
| 1.3.4 其他新型测头研究进展 | 第32-34页 |
| 1.3.5 总结 | 第34-35页 |
| 1.4 课题来源及本文主要研究内容 | 第35-37页 |
| 1.4.1 课题来源 | 第35页 |
| 1.4.2 本文主要研究内容 | 第35-37页 |
| 第二章 三维谐振触发测头工作机理 | 第37-47页 |
| 2.1 介观尺度测球-试样间主要界面力 | 第37-41页 |
| 2.1.1 范德华力 | 第38-39页 |
| 2.1.2 毛细力 | 第39-41页 |
| 2.2 三维谐振触发测头力学模型构建 | 第41-45页 |
| 2.2.1 X(Y)向力学模型 | 第41-43页 |
| 2.2.2 Z向力学模型 | 第43-45页 |
| 2.3 界面作用力对测头运动的影响分析及MATLAB仿真 | 第45-46页 |
| 2.4 本章小结 | 第46-47页 |
| 第三章 三维谐振触发测头及其特性测试 | 第47-74页 |
| 3.1 一体式光纤微探球的制备 | 第47-52页 |
| 3.1.1 实验原理及装置 | 第47-49页 |
| 3.1.2 光纤拉锥 | 第49-50页 |
| 3.1.3 基于田口法的二级烧制 | 第50-52页 |
| 3.2 基于石英音叉的三维谐振触发测头 | 第52-62页 |
| 3.2.1 石英音叉等效电路 | 第52-54页 |
| 3.2.2 测头结构及工作原理 | 第54-56页 |
| 3.2.3 测头特性测试 | 第56-62页 |
| 3.3 基于PVDF的三维谐振触发测头 | 第62-67页 |
| 3.3.1 测头结构及工作原理 | 第62-63页 |
| 3.3.2 PVDF薄膜尺寸参数对测头特性的影响 | 第63-64页 |
| 3.3.3 测头特性测试 | 第64-67页 |
| 3.4 基于双端音叉的三维谐振触发测头 | 第67-73页 |
| 3.4.1 双端音叉简介 | 第67-68页 |
| 3.4.2 双端音叉三维谐振触发探头系统 | 第68-73页 |
| 3.5 本章小结 | 第73-74页 |
| 第四章 三维谐振触发测量实验系统构建 | 第74-102页 |
| 4.1 基于石英音叉的三维谐振触发测量与定位系统 | 第74-87页 |
| 4.1.1 系统实现原理 | 第74-75页 |
| 4.1.2 系统机械结构设计 | 第75-77页 |
| 4.1.3 硬件电路设计 | 第77-84页 |
| 4.1.4 三维纳米定位系统及控制方式 | 第84-87页 |
| 4.2 基于PVDF的三维谐振触发测量与定位系统 | 第87-89页 |
| 4.2.1 系统实现原理 | 第87-88页 |
| 4.2.2 硬件电路 | 第88-89页 |
| 4.3 系统控制软件设计 | 第89-100页 |
| 4.3.1 采集卡测试程序设计及调试 | 第89-91页 |
| 4.3.2 微动台测试程序设计及调试 | 第91-92页 |
| 4.3.3 自动逼近程序设计 | 第92-93页 |
| 4.3.4 双向接近曲线测试程序设计 | 第93-96页 |
| 4.3.5 圆周接近曲线测试程序设计 | 第96-98页 |
| 4.3.6 触发测量程序设计 | 第98-100页 |
| 4.4 本章小结 | 第100-102页 |
| 第五章 三维谐振触发测量与定位系统特性测试 | 第102-129页 |
| 5.1 系统特性测试 | 第102-112页 |
| 5.1.1 双向接近曲线测试及程序改进 | 第102-109页 |
| 5.1.2 圆周接近曲线测试及程序改进 | 第109-112页 |
| 5.2 三维谐振触发测头等效直径定向标定 | 第112-120页 |
| 5.2.1 标定原理及方案设计 | 第112-115页 |
| 5.2.2 标定测试程序设计 | 第115-117页 |
| 5.2.3 等效直径标定测试 | 第117-120页 |
| 5.3 石英音叉系统三维触发测量 | 第120-128页 |
| 5.3.1 振幅反馈模式触发测量 | 第120-126页 |
| 5.3.2 相位反馈模式触发测量 | 第126-128页 |
| 5.4 本章小结 | 第128-129页 |
| 第六章 总结与展望 | 第129-132页 |
| 6.1 研究总结 | 第129-130页 |
| 6.1.1 研究成果总结 | 第129-130页 |
| 6.1.2 本文主要创新点 | 第130页 |
| 6.2 工作展望 | 第130-132页 |
| 参考文献 | 第132-139页 |
| 攻读博士学位期间的学术活动及成果情况 | 第139-140页 |