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微纳加工制作基于LaAlO3/SrTiO3异质结的自旋霍尔效应器件研究

摘要第5-7页
ABSTRACT第7-8页
第1章 研究背景第10-48页
    1.1 LaAlO_3/SrTiO_3异质结界面第10-39页
        1.1.1 LaAlO_3/SrTiO_3异质结界面二维电子气(2DEG)起源第11-14页
        1.1.2 LaAlO_3/SrTiO_3界面2DEG奇异性质:超导,铁磁以及Rashba自旋轨道耦合第14-28页
        1.1.3 LaAlO_3/SrTiO_3界面2DEG自旋输运(Spin transport)及自旋霍尔效应(Spin Hall effect)第28-39页
    1.2 LaAlO_3/SrTiO_3异质结微纳加工(Nanofabrication)第39-48页
第2章 LaAlO_3/SrTiO_3异质结纳米器件的制备与输运测试第48-55页
    2.1 SHE器件制作第48-53页
        2.1.1 电子束曝光(Electron beam lithography,EBL)第48-50页
        2.1.2 离子束刻蚀(Ion beam etching,IBE)第50-52页
        2.1.3 聚焦离子束刻蚀(Focused ion beam etching,FIB)第52-53页
    2.2 LaAlO_3/SrTiO_3异质结纳米器件加工基本流程第53-54页
    2.3 低温输运测试第54-55页
第3章 LaAlO_3/SrTiO_3异质结纳米器件的可靠性研究第55-69页
    3.1 低能Ar-辐照制作LaAlO_3/SrTiO_3异质结纳米器件第55-62页
        3.1.1 器件制作第55-59页
        3.1.2 绝缘性能测试第59-62页
    3.2 聚焦离子束(FIB)刻蚀制作LaAlO_3/SrTiO_3异质结纳米器件第62-69页
第4章 LaAlO_3/SrTiO_3条带Rashba SOC研究第69-77页
    4.1 栅压调控LaAlO_3/SrTiO_3异质结条带Rashba SOC第70-73页
    4.2 激光激发调控LaAlO_3/SrTiO_3异质结条带Rashba SOC第73-77页
第5章 总结与展望第77-79页
    5.1 总结第77-78页
    5.2 展望第78-79页
参考文献第79-85页
致谢第85-87页
在读期间发表的学术论文第87页

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