| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第13-20页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第13-16页 |
| 1.1.1 蓝宝石的概述 | 第13-14页 |
| 1.1.2 蓝宝石精密加工的方法 | 第14-15页 |
| 1.1.3 目前存在的问题 | 第15-16页 |
| 1.2 超声研磨的原理 | 第16-17页 |
| 1.3 超声研磨技术研究现状 | 第17-18页 |
| 1.4 课题研究目的与内容 | 第18-20页 |
| 1.4.1 研究目的 | 第18页 |
| 1.4.2 内容安排 | 第18-20页 |
| 第二章 超声研磨振动系统设计与研制及振动特性测试 | 第20-44页 |
| 2.1 超声研磨加工系统的整体结构 | 第20-23页 |
| 2.1.1 超声波发生器 | 第20-21页 |
| 2.1.2 超声换能器 | 第21-22页 |
| 2.1.3 变幅杆 | 第22-23页 |
| 2.1.4 工具 | 第23页 |
| 2.2 压电换能器的设计 | 第23-32页 |
| 2.2.1 设计原则 | 第23-24页 |
| 2.2.2 设计方法 | 第24-30页 |
| 2.2.3 设计结果 | 第30-32页 |
| 2.3 变幅杆及工具的设计 | 第32-36页 |
| 2.3.1 变幅杆的设计 | 第32-36页 |
| 2.3.2 工具的设计 | 第36页 |
| 2.4 超声研磨振动系统仿真分析 | 第36-39页 |
| 2.4.1 有限元模型的建立 | 第37页 |
| 2.4.2 振动系统的模态分析 | 第37-39页 |
| 2.5 超声研磨振动系统的研制及振动特性测试试验 | 第39-43页 |
| 2.5.1 振动系统的研制 | 第39-40页 |
| 2.5.2 振动性能测试条件 | 第40-41页 |
| 2.5.3 试验结果分析 | 第41-43页 |
| 2.6 本章小结 | 第43-44页 |
| 第三章 超声研磨垫的研制 | 第44-54页 |
| 3.1 研磨垫特性分析 | 第45-48页 |
| 3.1.1 研磨垫的功能特性 | 第45页 |
| 3.1.2 研磨垫的性能指标 | 第45-47页 |
| 3.1.3 研磨垫的材料结构特性 | 第47页 |
| 3.1.4 研磨垫的表面结构特性 | 第47-48页 |
| 3.2 研磨垫的研制 | 第48-52页 |
| 3.2.1 研磨垫的组成 | 第48-50页 |
| 3.2.2 研磨垫的制备流程 | 第50-52页 |
| 3.3 研磨垫对振动系统特性的影响 | 第52-53页 |
| 3.4 本章小结 | 第53-54页 |
| 第四章 基于等效阻抗的固结磨料超声研磨试验系统的建立 | 第54-61页 |
| 4.1 试验系统综述 | 第54-55页 |
| 4.2 超声电源控制Z轴 | 第55-59页 |
| 4.2.1 硬件电路连接 | 第57页 |
| 4.2.2 程序控制 | 第57-59页 |
| 4.3 XY轴的进给系统 | 第59-60页 |
| 4.4 冲液系统 | 第60页 |
| 4.5 本章小结 | 第60-61页 |
| 第五章 基于等效阻抗的固结磨料超声研磨试验及分析 | 第61-71页 |
| 5.1 试验条件 | 第61-63页 |
| 5.1.1 试件制备 | 第61页 |
| 5.1.2 检测设备 | 第61-62页 |
| 5.1.3 试验方案设计 | 第62-63页 |
| 5.2 超声研磨参数对蓝宝石材料去除率的影响 | 第63-66页 |
| 5.3 超声研磨参数对蓝宝石表面质量的影响 | 第66-68页 |
| 5.4 磨粒粒径及超声研磨轨迹对蓝宝石材料去除率影响 | 第68-69页 |
| 5.5 磨粒粒径及超声研磨轨迹对蓝宝石表面质量的影响 | 第69-70页 |
| 5.6 小章总结 | 第70-71页 |
| 第六章 总结与展望 | 第71-73页 |
| 6.1 论文主要工作 | 第71-72页 |
| 6.2 后续工作展望 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 在读研期间的研究成果及发表的学术论文 | 第78页 |
