| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-17页 |
| 1.2.1 LIGBT器件关断时间的国内外研究现状 | 第12-15页 |
| 1.2.2 LIGBT短路能力国内外研究现状 | 第15-17页 |
| 1.3 研究内容与设计指标 | 第17-19页 |
| 1.4 论文组织 | 第19-20页 |
| 第二章 厚膜SOI-LIGBT器件的基本工作原理 | 第20-30页 |
| 2.1 厚膜SOI-LIGBT器件静态参数特性分析 | 第20-23页 |
| 2.1.1 器件耐压设计原理 | 第20-21页 |
| 2.1.2 阈值电压设计原理 | 第21-22页 |
| 2.1.3 电流能力设计原理 | 第22-23页 |
| 2.2 开关特性分析 | 第23-25页 |
| 2.2.1 开启原理 | 第23-24页 |
| 2.2.2 关断原理 | 第24-25页 |
| 2.3 短路特性分析 | 第25-29页 |
| 2.3.1 短路定义及发生条件 | 第25-26页 |
| 2.3.2 短路失效原理 | 第26-29页 |
| 2.4 本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 传统U沟道厚膜SOI-LIGBT器件的动态特性研究 | 第30-36页 |
| 3.1 传统U沟道厚膜SOI-IIGBT器件基本结构 | 第30页 |
| 3.2 传统U沟道厚膜SOI-LIGBT器件短路特性研究 | 第30-33页 |
| 3.2.1 传统U沟道短路特性的测试结果分析 | 第30-31页 |
| 3.2.2 传统U沟道厚膜SOI-LIGBT器件短路特性的仿真分析 | 第31-33页 |
| 3.3 传统U沟道厚膜SOI-LIGBT器件关断特性研究 | 第33-34页 |
| 3.3.1 传统U沟道厚膜SOI-LIGBT器件的关断曲线仿真分析 | 第33页 |
| 3.3.2 传统U沟道厚膜SOI-LIGBT器件的拖尾电流阶段仿真分析 | 第33-34页 |
| 3.4 本章小结 | 第34-36页 |
| 第四章 新型U沟道厚膜SOI-LIGBT器件特性优化设计 | 第36-60页 |
| 4.1 新型沟槽隔离阳极短路结构的U沟道厚膜SOI-LIGBT器件 | 第36-37页 |
| 4.1.1 器件的结构特点 | 第36页 |
| 4.1.2 器件的工作原理 | 第36-37页 |
| 4.2 基本结构参数设计 | 第37-47页 |
| 4.2.1 击穿电压特性 | 第38-41页 |
| 4.2.2 阈值电压设计 | 第41-43页 |
| 4.2.3 电流能力设计 | 第43-47页 |
| 4.3 短路特性优化设计 | 第47-50页 |
| 4.3.1 沟道角度α对电流能力的影响 | 第48-49页 |
| 4.3.2 沟道角度α对短路能力的影响 | 第49-50页 |
| 4.4 关断特性优化设计 | 第50-58页 |
| 4.4.1 关断前载流子的分布情况 | 第51-52页 |
| 4.4.2 关断初期耗尽层展宽过程 | 第52-54页 |
| 4.4.3 关断中期漂移区完全耗尽过程分析 | 第54-55页 |
| 4.4.4 关断末期载流子复合过程分析 | 第55-56页 |
| 4.4.5 参数对器件关断时间和snapback现象的影响 | 第56-58页 |
| 4.5 本章小结 | 第58-60页 |
| 第五章 550V新型厚膜SOI-LIGBT器件的流片及测试 | 第60-70页 |
| 5.1 550V新型厚膜SOI-LIGBT器件的工艺步骤 | 第60-63页 |
| 5.2 新型U沟道厚膜SOI-LIGBT器件的版图设计 | 第63-64页 |
| 5.3 新型550VU沟道厚膜SOI-LIGBT器件的测试结果 | 第64-68页 |
| 5.3.1 阈值电压测试 | 第64-65页 |
| 5.3.2 耐压测试 | 第65页 |
| 5.3.3 电流测试 | 第65-66页 |
| 5.3.4 短路测试 | 第66页 |
| 5.3.5 关断时间测试 | 第66-67页 |
| 5.3.6 闩锁测试 | 第67-68页 |
| 5.4 本章小结 | 第68-70页 |
| 第六章 总结与展望 | 第70-72页 |
| 6.1 总结 | 第70-71页 |
| 6.2 展望 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-78页 |
| 攻读硕士学位期间的成果和发表的论文 | 第78页 |
