| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-35页 |
| 1.1 引言 | 第11-13页 |
| 1.2 图形的制备方法 | 第13-26页 |
| 1.2.1 刻写 | 第13-21页 |
| 1.2.2 自组装相分离来制备图形 | 第21-23页 |
| 1.2.3 纳米压印加工技术 | 第23-26页 |
| 1.3 光刻印刷制备图形 | 第26-31页 |
| 1.3.1 光学光刻 | 第27-28页 |
| 1.3.2 极紫外光刻(EUVL) | 第28页 |
| 1.3.3 X 射线光刻(XRL) | 第28-29页 |
| 1.3.4 电子束光刻(EBL) | 第29-30页 |
| 1.3.5 离子束光刻(IBL) | 第30-31页 |
| 1.4 反应诱致相分离[94] | 第31-33页 |
| 1.5 论文的研究目的以及主要内容 | 第33-35页 |
| 第二章 使用 TMPTA 和 PS-r-PMMA 为原料制备还有纳米 结构的微米图形 | 第35-55页 |
| 2.1 引言 | 第35-36页 |
| 2.2 实验部分 | 第36-37页 |
| 2.2.1 实验原料 | 第36页 |
| 2.2.2 分析与测试 | 第36-37页 |
| 2.2.3 含有纳米结构的微米图形的制备 | 第37页 |
| 2.3 实验结果与讨论 | 第37-53页 |
| 2.3.1 制备得到的含有纳米结构的微米图形 | 第37-40页 |
| 2.3.1 图形产生的机理研究 | 第40-46页 |
| 2.3.2 实验条件对产生图形的影响 | 第46-53页 |
| 2.4 本章小结 | 第53-55页 |
| 第三章 使用 TMPTA 和 PS-r-PBMA 为原料制备还有纳米结 构的微米图形 | 第55-65页 |
| 3.1 引言 | 第55页 |
| 3.2 实验 | 第55-56页 |
| 3.2.1 实验原料 | 第55-56页 |
| 3.2.2 分析与测试 | 第56页 |
| 3.2.3 含有纳米结构的微米图形的制备 | 第56页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第56-64页 |
| 3.3.1 改变交联剂和线性共聚物之间的比例 | 第56-59页 |
| 3.3.2 改变淬火时间 | 第59-61页 |
| 3.3.3 使用热致交联代替光致交联 | 第61-64页 |
| 3.4 本章总结 | 第64-65页 |
| 第四章 全文总结 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 攻读硕士学位期间已发表或录用的论文 | 第73-74页 |
| 附录 硕士期间其他所做尝试 | 第74-81页 |