柔性可变栅极石墨烯场效应应变传感元件的制备和性能研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-22页 |
| 1.1 石墨烯简介 | 第10-14页 |
| 1.1.1 石墨烯的性质 | 第10-12页 |
| 1.1.2 石墨烯的制备方法 | 第12-14页 |
| 1.2 拉曼光谱表征石墨烯 | 第14-17页 |
| 1.2.1 石墨烯拉曼光谱产生原理 | 第14-15页 |
| 1.2.2 石墨烯层数和拉曼光谱的关系 | 第15-16页 |
| 1.2.3 拉曼光谱表征石墨烯缺陷 | 第16页 |
| 1.2.4 拉曼光谱表征石墨烯形变 | 第16-17页 |
| 1.3 石墨烯电子器件 | 第17-19页 |
| 1.4 本课题的研究目的、研究内容 | 第19-22页 |
| 1.4.1 研究目的 | 第19-20页 |
| 1.4.2 研究内容 | 第20-22页 |
| 第二章 应变传感元件的制备 | 第22-34页 |
| 2.1 引言 | 第22-23页 |
| 2.2 实验材料和设备 | 第23-24页 |
| 2.2.1 实验试剂 | 第23页 |
| 2.2.2 实验器材和设备 | 第23-24页 |
| 2.3 棱型阵列铜基底的制备 | 第24-28页 |
| 2.3.1 硅片上光刻阵列图形 | 第24-25页 |
| 2.3.2 TMAH溶液腐蚀硅片 | 第25-26页 |
| 2.3.3 电镀工艺制备铜阵列基底 | 第26-28页 |
| 2.4 化学气相沉积法生长石墨烯阵列 | 第28-29页 |
| 2.5 石墨烯阵列转移至PDMS基底 | 第29-30页 |
| 2.6 器件的组装 | 第30-32页 |
| 2.7 本章总结 | 第32-34页 |
| 第三章 石墨烯拉曼光谱表征 | 第34-40页 |
| 3.1 引言 | 第34页 |
| 3.2 实验材料与设备 | 第34页 |
| 3.2.1 实验试剂 | 第34页 |
| 3.2.2 实验器材和设备 | 第34页 |
| 3.3 实验设计 | 第34-36页 |
| 3.3.1 CVD石墨烯拉曼表征 | 第35页 |
| 3.3.2 转移后石墨烯拉曼表征 | 第35页 |
| 3.3.3 形变后石墨烯拉曼表征 | 第35-36页 |
| 3.4 实验结果与讨论 | 第36-38页 |
| 3.4.1 CVD生长石墨烯拉曼表征 | 第36页 |
| 3.4.2 转移后石墨烯拉曼表征 | 第36-37页 |
| 3.4.3 形变石墨烯拉曼表征 | 第37-38页 |
| 3.5 本章小结 | 第38-40页 |
| 第四章 应变传感元件应变测试 | 第40-60页 |
| 4.1 引言 | 第40页 |
| 4.2 实验材料及设备 | 第40页 |
| 4.3 测试系统 | 第40-43页 |
| 4.3.1 压力测试系统 | 第41-42页 |
| 4.3.2 栅极电压输出和数据采集系统 | 第42-43页 |
| 4.4 实验方法 | 第43-48页 |
| 4.4.1 实验原理 | 第43-44页 |
| 4.4.2 实验 | 第44-45页 |
| 4.4.3 模拟 | 第45-48页 |
| 4.5 实验结果 | 第48-56页 |
| 4.5.1 SEM表征结果 | 第48-49页 |
| 4.5.2 应变测试结果 | 第49-54页 |
| 4.5.3 模拟结果 | 第54-56页 |
| 4.6 结果讨论 | 第56-57页 |
| 4.7 本章小结 | 第57-60页 |
| 第五章 总结与展望 | 第60-62页 |
| 5.1 总结 | 第60-61页 |
| 5.2 展望 | 第61-62页 |
| 硕士期间发表论文及专利 | 第62-64页 |
| 致谢 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
