| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-23页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第11-13页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第13-21页 |
| 1.2.1 显微成像设备现状 | 第13-15页 |
| 1.2.2 拉伸及疲劳测试仪器现状 | 第15-18页 |
| 1.2.3 压电驱动现状 | 第18-21页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第21-23页 |
| 第2章 基于斜块箝位的压电驱动器结构设计与分析 | 第23-37页 |
| 2.1 基于斜块箝位的压电驱动器的整体结构与工作原理 | 第23-29页 |
| 2.1.1 混合驱动式压电驱动器的整体结构设计 | 第23-24页 |
| 2.1.2 混合驱动式压电驱动器的工作原理 | 第24-27页 |
| 2.1.3 推进式压电驱动器的整体结构设计 | 第27页 |
| 2.1.4 推进式压电驱动器的工作原理 | 第27-29页 |
| 2.2 压电驱动器的设计与分析 | 第29-35页 |
| 2.2.1 斜面的自锁效应 | 第29-30页 |
| 2.2.2 箝位斜块的设计与分析 | 第30-32页 |
| 2.2.3 混合驱动式驱动器动子的设计与分析 | 第32-33页 |
| 2.2.4 推进式驱动器定子的设计 | 第33-34页 |
| 2.2.5 推进式驱动器有限元分析 | 第34-35页 |
| 2.3 本章小结 | 第35-37页 |
| 第3章 基于斜块箝位的压电驱动器性能测试与分析 | 第37-55页 |
| 3.1 压电驱动器性能测试系统 | 第37-39页 |
| 3.2 混合驱动式压电驱动器的性能测试 | 第39-46页 |
| 3.2.1 控制波形对混合驱动式驱动器输出性能的影响 | 第39-40页 |
| 3.2.2 控制电压对混合驱动式驱动器输出性能的影响 | 第40-41页 |
| 3.2.3 控制频率对混合驱动式驱动器输出性能的影响 | 第41-42页 |
| 3.2.4 混合驱动式驱动器运动分辨率测试 | 第42-43页 |
| 3.2.5 混合驱动式驱动器运动速度测试 | 第43-44页 |
| 3.2.6 混合驱动式驱动器承载能力测试 | 第44-46页 |
| 3.3 推进式压电驱动器的性能测试 | 第46-54页 |
| 3.3.1 控制电压对推进式驱动器输出性能的影响 | 第46-47页 |
| 3.3.2 推进式驱动器运动分辨率测试 | 第47-48页 |
| 3.3.3 推进式驱动器运动速度测试 | 第48-49页 |
| 3.3.4 推进式驱动器承载能力测试 | 第49-51页 |
| 3.3.5 推进式驱动器寄生位移测试 | 第51-52页 |
| 3.3.6 推进式驱动器振动频率测试 | 第52-54页 |
| 3.4 本章小结 | 第54-55页 |
| 第4章 原位拉伸及疲劳测试仪器结构设计与分析 | 第55-63页 |
| 4.1 原位拉伸及疲劳测试仪器的整体方案设计 | 第55-56页 |
| 4.2 原位拉伸及疲劳测试仪器的工作原理 | 第56-58页 |
| 4.2.1 仪器驱动原理 | 第56页 |
| 4.2.2 拉伸测试原理 | 第56-57页 |
| 4.2.3 疲劳测试原理 | 第57-58页 |
| 4.3 原位拉伸及疲劳测试仪器的误差分析 | 第58-59页 |
| 4.4 原位拉伸及疲劳测试仪器的闭环控制 | 第59-60页 |
| 4.5 本章小结 | 第60-63页 |
| 第5章 原位拉伸及疲劳测试仪器性能测试 | 第63-71页 |
| 5.1 原位拉伸及疲劳测试仪器性能测试系统 | 第63-64页 |
| 5.2 原位拉伸及疲劳测试仪器性能测试 | 第64-69页 |
| 5.2.1 样件制备 | 第64-65页 |
| 5.2.2 原位拉伸测试试验 | 第65-66页 |
| 5.2.3 原位疲劳测试试验 | 第66-67页 |
| 5.2.4 拉伸及疲劳测试原位观测试验 | 第67-69页 |
| 5.3 本章小结 | 第69-71页 |
| 第6章 结论与展望 | 第71-75页 |
| 6.1 结论 | 第71-73页 |
| 6.2 展望 | 第73-75页 |
| 参考文献 | 第75-81页 |
| 作者简介 | 第81-83页 |
| 致谢 | 第83页 |
