| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 插图清单 | 第8-10页 |
| 引言 | 第10-13页 |
| 1 有机薄膜的制备与表征 | 第13-26页 |
| 1．1 并五苯薄膜生长的基本原理及装置结构 | 第13-14页 |
| 1．2 Pentacene薄膜的表征 | 第14-23页 |
| 1．2．1 并五苯薄膜的SEM分析 | 第14-21页 |
| 1．2．2 XED检测与结果分析 | 第21-23页 |
| 1．3 其他有机物半导体薄膜的制备 | 第23-26页 |
| 2 并五苯场效应晶体管的结构与制作工艺 | 第26-34页 |
| 2．1 并五苯场效应晶体管的结构 | 第26页 |
| 2．2 并五苯场效应晶体管的制作工艺 | 第26-34页 |
| 2．2．1 热氧化法制备二氧化硅绝缘层 | 第28-29页 |
| 2．2．2 研磨工艺 | 第29-30页 |
| 2．2．3 晶片的清洗与除蜡 | 第30页 |
| 2．2．4 栅电极的制作工艺 | 第30-31页 |
| 2．2．5 源漏电极的制备 | 第31-32页 |
| 2．2．6 并五苯活性层的制备 | 第32-34页 |
| 3 并五苯场效应晶体管的测试 | 第34-38页 |
| 3．1 并五苯场效应晶体管的工作原理 | 第34-35页 |
| 3．2 有机场效应晶体管的测试 | 第35-38页 |
| 结论 | 第38-39页 |
| 参考文献 | 第39-41页 |
| 附录A XJ4830晶体管特性测试仪数据处理的Matlab程序 | 第41-43页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第43-44页 |
| 致谢 | 第44-45页 |
| 大连理工大学学位论文版权使用授权书 | 第45页 |