| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 目录 | 第8-10页 |
| 1 绪论 | 第10-24页 |
| 1.1 课题概述 | 第10-14页 |
| 1.2 半导体纳米结构测量技术研究现状及发展趋势 | 第14-22页 |
| 1.3 本文主要研究工作 | 第22-24页 |
| 2 纳米结构几何形貌识别方法 | 第24-34页 |
| 2.1 引言 | 第24-25页 |
| 2.2 基于支持向量机的纳米结构几何形貌识别方法 | 第25-29页 |
| 2.3 典型纳米结构几何形貌识别仿真分析 | 第29-32页 |
| 2.4 本章小结 | 第32-34页 |
| 3 基于非线性回归的纳米结构几何形貌重构方法 | 第34-57页 |
| 3.1 引言 | 第34-36页 |
| 3.2 传统非线性回归方法 | 第36-39页 |
| 3.3 基于数据约化的非线性回归方法 | 第39-48页 |
| 3.4 基于鲁棒统计的非线性回归方法 | 第48-55页 |
| 3.5 本章小结 | 第55-57页 |
| 4 基于库匹配的纳米结构几何形貌重构方法 | 第57-67页 |
| 4.1 引言 | 第57页 |
| 4.2 传统库匹配方法 | 第57-59页 |
| 4.3 快速光谱库搜索算法 | 第59-61页 |
| 4.4 基于数据约化的参数修正方法 | 第61-62页 |
| 4.5 基于鲁棒统计的参数修正方法 | 第62-63页 |
| 4.6 典型纳米结构参数提取仿真 | 第63-65页 |
| 4.7 本章小结 | 第65-67页 |
| 5 测量不确定度评估 | 第67-74页 |
| 5.1 引言 | 第67页 |
| 5.2 基于正态统计分布假设的测量不确定度评估方法 | 第67-70页 |
| 5.3 鲁棒测量不确定度评估方法 | 第70-71页 |
| 5.4 典型纳米结构测量不确定度评估仿真分析 | 第71-73页 |
| 5.5 本章小结 | 第73-74页 |
| 6 基于光学散射仪的典型纳米结构测量实验研究 | 第74-92页 |
| 6.1 引言 | 第74页 |
| 6.2 广义椭偏仪测量设备及实验过程简介 | 第74-75页 |
| 6.3 基于支持向量机的纳米结构几何形貌识别实验研究 | 第75-78页 |
| 6.4 典型纳米结构形貌参数鲁棒提取实验研究 | 第78-89页 |
| 6.5 典型纳米结构测量不确定度评估实验研究 | 第89-91页 |
| 6.6 本章小结 | 第91-92页 |
| 7 总结与展望 | 第92-95页 |
| 7.1 全文总结 | 第92-93页 |
| 7.2 研究展望 | 第93-95页 |
| 致谢 | 第95-97页 |
| 参考文献 | 第97-107页 |
| 附录1 攻读学位期间发表的学术论文 | 第107-109页 |
| 附录2 攻读学位期间申请的国际、国家发明专利 | 第109-110页 |
| 附录3 攻读学位期间参会经历和所获奖项 | 第110页 |