新型高频硅基超声雾化器的设计仿真与制备
| 摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 现有的商用雾化器介绍 | 第9-12页 |
| 1.2.1 传统的超声雾化器 | 第9-10页 |
| 1.2.2 空气压缩式雾化器 | 第10-11页 |
| 1.2.3 网式雾化器 | 第11-12页 |
| 1.3 与本文相关的雾化器的国内外研究现状 | 第12-13页 |
| 1.4 课题来源、研究目的及意义 | 第13-15页 |
| 第二章 硅基超声雾化器的设计理论 | 第15-27页 |
| 2.1 引言 | 第15页 |
| 2.2 压电驱动的相关理论 | 第15-18页 |
| 2.2.1 压电现象及压电效应 | 第15-16页 |
| 2.2.2 压电材料的性质及选择 | 第16-18页 |
| 2.3 超声变幅杆设计理论 | 第18-21页 |
| 2.3.1 超声变幅杆介绍 | 第18-19页 |
| 2.3.2 傅里叶变幅杆的设计 | 第19-21页 |
| 2.4 超声雾化理论 | 第21-25页 |
| 2.5 小结 | 第25-27页 |
| 第三章 雾化器的设计与仿真分析 | 第27-37页 |
| 3.1 引言 | 第27页 |
| 3.2 雾化器结构尺寸的设计 | 第27-28页 |
| 3.3 雾化器的仿真分析 | 第28-36页 |
| 3.3.1 仿真模型的建立 | 第29-30页 |
| 3.3.2 模态分析 | 第30-32页 |
| 3.3.3 谐响应分析 | 第32-36页 |
| 3.4 本章小结 | 第36-37页 |
| 第四章 雾化器的制备、测试 | 第37-47页 |
| 4.1 雾化器制备工艺简介 | 第37-42页 |
| 4.1.1 表面清洗工艺 | 第37页 |
| 4.1.2 光刻工艺 | 第37-39页 |
| 4.1.3 刻蚀工艺 | 第39-40页 |
| 4.1.4 镀膜工艺 | 第40-41页 |
| 4.1.5 引线键合工艺 | 第41-42页 |
| 4.2 雾化器的测试 | 第42-45页 |
| 4.3 本章小结 | 第45-47页 |
| 第五章 总结与展望 | 第47-49页 |
| 5.1 总结 | 第47页 |
| 5.2 展望 | 第47-49页 |
| 参考文献 | 第49-53页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第53-55页 |
| 致谢 | 第55页 |
