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基于导电氧化物/金属界面忆阻器的研究

摘要第4-6页
Abstract第6-7页
1 绪论第11-31页
    1.1 忆阻器的理论基础及物理模型第11-15页
    1.2 忆阻器的结构与机理分析第15-24页
        1.2.1 忆阻器的结构第15-16页
        1.2.2 忆阻器的机理分析第16-24页
    1.3 忆阻器的基本特性及其应用第24-26页
        1.3.1 忆阻器的数字与模拟特性第24页
        1.3.2 忆阻器数字特性的应用第24-25页
        1.3.3 忆阻器模拟特性的应用第25-26页
    1.4 基于忆阻器模拟/数字共存表达的研究现状第26-28页
    1.5 本论文的立意及研究内容第28-31页
2 忆阻器制备与测试分析方法第31-39页
    2.1 引言第31-33页
        2.1.1 磁控溅射制备薄膜的基本原理第31-32页
        2.1.2 制备金属/导电氧化物点接触忆阻器的工艺流程第32-33页
    2.2 材料分析测试方法第33-35页
        2.2.1 台阶仪第33-34页
        2.2.2 X射线光电子能谱第34页
        2.2.3 透射电子显微镜分析第34-35页
    2.3 忆阻器性能的测试方法第35-39页
        2.3.1 忆阻器数字特性的测试方法第36-37页
        2.3.2 忆阻器模拟特性的测试方法第37-39页
3 基于惰性金属/ITO忆阻器的研究第39-53页
    3.1 惰性电极/ITO点接触结构忆阻器的制备第39页
    3.2 惰性金属/ITO忆阻器的数字特性第39-43页
        3.2.1 (Pt,Ag)/ITO忆阻器的阻变存储行为研究第39-40页
        3.2.2 电学参数对于Ag/ITO忆阻器的阻变存储行为的影响第40-42页
        3.2.3 电极尺寸对于Ag/ITO忆阻器的阻变存储行为的影响第42-43页
    3.3 惰性金属/ITO忆阻器的阻变机理分析第43-45页
    3.4 室温沉积下Ag/ITO忆阻器的模拟特性第45-52页
        3.4.1 Ag/ITO忆阻器在直流模式下的电流变化第46-49页
        3.4.2 Ag/ITO忆阻器的数据保留衰减特性第49-50页
        3.4.3 Ag/ITO忆阻器的在脉冲模式下的电流变化第50-52页
    3.5 本章小结第52-53页
4 基于活性金属/ITO忆阻器的研究第53-71页
    4.1 活性电极/ITO点接触结构忆阻器的制备第53页
    4.2 室温沉积下的活性金属/ITO忆阻器的研究第53-60页
        4.2.1 (Al,Cr,Sm)/ITO忆阻器的阻变存储行为研究第53-56页
        4.2.2 室温沉积Al/ITO忆阻器的界面分析第56-58页
        4.2.3 室温沉积Al/ITO忆阻器的阻变机理分析第58-60页
    4.3 真空退火后的活性金属/ITO忆阻器的研究第60-65页
        4.3.1 真空退火处理Al/ITO忆阻器的阻变存储行为研究第60-62页
        4.3.2 真空退火处理后Al/ITO忆阻器的界面分析第62-63页
        4.3.3 真空退火Al/ITO忆阻器的阻变机理分析第63-65页
    4.4 室温沉积下的活性金属/ITO忆阻器的模拟特性第65-69页
        4.4.1 Al/ITO忆阻器在直流模式下的电流变化第65-67页
        4.4.2 恒定电场作用下Al/ITO忆阻器的电流变化第67-68页
        4.4.3 Al/ITO忆阻器的数据保留衰减特性第68页
        4.4.4 Al/ITO忆阻器在在脉冲模式下的电流变化第68-69页
    4.5 本章小结第69-71页
5 基于活性金属/Nb:Sr TiO_3忆阻器的研究第71-88页
    5.1 室温沉积下的活性金属/Nb:Sr TiO_3忆阻器的研究第71-76页
        5.1.1 (Al,Ti)/Nb:Sr TiO_3忆阻器的阻变存储行为研究第71-73页
        5.1.2 电学参数对Al/Nb:Sr TiO_3忆阻器阻变存储行为的影响第73-74页
        5.1.3 电极尺寸对Al/Nb:Sr TiO_3忆阻器阻变存储行为的影响第74-75页
        5.1.4 Al/Nb:Sr TiO_3忆阻器的界面分析第75-76页
    5.2 真空退火后的活性金属/Nb:Sr TiO_3忆阻器的研究第76-80页
        5.2.1 真空退火处理Al/Nb:Sr TiO_3忆阻器的阻变存储行为研究第76-78页
        5.2.2 真空退火处理Al/Nb:Sr TiO_3忆阻器的界面分析第78页
        5.2.3 真空退火Al/Nb:Sr TiO_3忆阻器的阻变机理分析第78-80页
    5.3 室温沉积下的Al/Nb:Sr TiO_3忆阻器的模拟特性第80-87页
        5.3.1 Al/Nb:Sr TiO_3忆阻器在直流模式下的电流变化第80-82页
        5.3.2 恒定电场作用下Al/Nb:Sr TiO_3忆阻器的电流变化第82-83页
        5.3.3 Al/Nb:Sr TiO_3忆阻器的数据保留衰减特性第83页
        5.3.4 Al/Nb:Sr TiO_3忆阻器在脉冲模式下的电流变化第83-85页
        5.3.5 Al/Nb:Sr TiO_3忆阻器在输入三角波信号后的电流变化第85-87页
    5.4 本章小结第87-88页
结论第88-90页
致谢第90-91页
参考文献第91-100页
攻读硕士学位期间发表的学术论文及研究成果第100页

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