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微细超声波加工单晶硅脆塑转变判别标准的研究

摘要第4-5页
Abstract第5-6页
1 绪论第9-21页
    1.1 选题依据第9-10页
        1.1.1 课题来源第9页
        1.1.2 课题研究背景第9-10页
    1.2 微细超声波加工简述第10-13页
        1.2.1 超声波加工原理及特点第10-11页
        1.2.2 微细超声波加工研究现状第11-13页
    1.3 脆塑转变理论的发展第13-20页
        1.3.1 硬脆材料上的脆塑转变现象第13-15页
        1.3.2 硬脆材料上的压痕实验第15-20页
    1.4 论文中的主要研究内容第20-21页
2 微细超声波实验装置及计算机控制系统第21-32页
    2.1 微细超声波实验装置第21-30页
        2.1.1 WEDG系统第22-24页
        2.1.2 主轴及伺服系统第24-25页
        2.1.3 微细超声加工系统第25-27页
        2.1.4 实时观测系统第27-28页
        2.1.5 数据采集系统第28-30页
    2.2 计算机控制系统第30-32页
3 实验理论模型第32-38页
    3.1 脆性固体断裂理论第32-33页
    3.2 实验加工过程第33页
    3.3 单个磨粒最大冲击力计算模型第33-38页
        3.3.1 计算模型假设第33-34页
        3.3.2 计算加工区域磨粒数第34-35页
        3.3.3 计算压痕深度及单个磨粒最大冲击力第35-38页
4 工具不旋转微细超声加工脆塑转变现象第38-54页
    4.1 实验设计第38-39页
    4.2 实验操作步骤第39-40页
    4.3 实验数据的测量第40-41页
    4.4 实验数据的分析及结论第41-54页
        4.4.1 实验数据的分析第41-52页
        4.4.2 粗糙度Rpk验证实验及反证第52-53页
        4.4.3 关于工具不旋转微细超声加工脆塑转变临界力实验结论第53-54页
5 工具旋转的微细超声加工简要分析第54-67页
    5.1 实验设计第54页
    5.2 实验数据分析及结论第54-67页
        5.2.1 脆塑转变临界力第54-60页
        5.2.2 关于微细超声加工工具旋转与否的粗糙度性质第60-64页
        5.2.3 磨粒对于微细超声加工表面质量的影响第64-65页
        5.2.4 振幅对于微细超声振动的影响第65-66页
        5.2.5 结论第66-67页
结论第67-69页
参考文献第69-72页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况第72-73页
致谢第73-74页

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