中频感应熔炼条件下多晶硅定向凝固铸锭研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-23页 |
| ·立题背景 | 第9-11页 |
| ·多晶硅定向凝固铸造技术 | 第11-15页 |
| ·浇铸法 | 第11-12页 |
| ·布里奇曼法 | 第12-13页 |
| ·热交换法 | 第13-14页 |
| ·电磁感应加热连续铸造(EMCP) | 第14-15页 |
| ·定向凝固多晶硅铸造技术发展现状 | 第15-22页 |
| ·定向凝固多晶硅铸锭的生产技术 | 第15-17页 |
| ·定向凝固多晶硅铸锭晶体生长研究进展 | 第17-19页 |
| ·多晶硅定向凝固铸锭技术在提纯方面应用 | 第19-21页 |
| ·多晶硅定向凝固铸锭工艺数值模拟研究 | 第21-22页 |
| ·本文研究的主要目的及内容 | 第22-23页 |
| 2. 实验原理及实验方法 | 第23-34页 |
| ·电磁感应熔炼原理 | 第23-25页 |
| ·电磁感应加热原理 | 第23-24页 |
| ·趋肤效应及感应热的计算 | 第24页 |
| ·电磁力的作用 | 第24-25页 |
| ·多晶硅定向凝固理论基础 | 第25-29页 |
| ·定向凝固过程中的传热问题 | 第25-26页 |
| ·定向凝固过程中的杂质分凝 | 第26-28页 |
| ·定向凝固过程中的成分过冷 | 第28-29页 |
| ·实验方法 | 第29-34页 |
| ·实验原料及设备 | 第29-30页 |
| ·多晶硅定向凝固温度场设计 | 第30-31页 |
| ·实验过程 | 第31-34页 |
| 3. 中频感应熔炼条件下多晶硅定向凝固温度场研究 | 第34-41页 |
| ·概述 | 第34页 |
| ·实验设计及实验方法 | 第34-35页 |
| ·结果分析与讨论 | 第35-40页 |
| ·中频感应条件下不同阶段温度分布及热流方向 | 第35-36页 |
| ·硅熔体对感应加热区内温度场影响 | 第36-38页 |
| ·多晶硅定向凝固铸锭过程 | 第38-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 4. 定向凝固多晶硅铸锭中杂质去除率研究 | 第41-48页 |
| ·概述 | 第41页 |
| ·实验方法 | 第41-42页 |
| ·实验结果与讨论 | 第42-47页 |
| ·定向凝固过程中杂质分凝对去除率的影响 | 第42-45页 |
| ·真空熔炼过程中蒸发机制对杂质去除率的影响 | 第45-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 5. 杂质分布对多晶铸锭组织及电特性影响 | 第48-57页 |
| ·概述 | 第48页 |
| ·实验设计及实验方法 | 第48-50页 |
| ·结果分析与讨论 | 第50-56页 |
| ·定向凝固多晶硅铸锭中的杂质分布 | 第50-52页 |
| ·杂质分布多晶硅铸锭组织影响 | 第52-55页 |
| ·杂质分布对多晶硅铸锭电学特性影响 | 第55-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 结论 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
