太阳能选择性涂层W-AlN工艺及性能的分析
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 引言 | 第8-9页 |
| 1 太阳能光热发电的分类 | 第9-20页 |
| ·太阳能光热发电的介绍和前景 | 第9-12页 |
| ·热发电技术现状 | 第9-10页 |
| ·太阳能热发电前景 | 第10-11页 |
| ·太阳能资源的分布 | 第11-12页 |
| ·太阳能槽式发电 | 第12-17页 |
| ·系统简介 | 第12-13页 |
| ·技术发展状况 | 第13-15页 |
| ·现有项目(应用情况) | 第15-17页 |
| ·塔式太阳能发电 | 第17-18页 |
| ·技术发展 | 第17-18页 |
| ·现有项目 | 第18页 |
| ·太阳能碟式发电技术 | 第18-20页 |
| ·技术发展 | 第18-19页 |
| ·现有项目 | 第19-20页 |
| 2 太阳能槽式发电集热管 | 第20-22页 |
| ·集热管的结构 | 第20页 |
| ·集热管的工作原理 | 第20-22页 |
| 3 太阳能集热管选择性吸收涂层 | 第22-31页 |
| ·黑铬涂层 | 第22-23页 |
| ·Al-AlN金属陶瓷涂层 | 第23-24页 |
| ·Mo-AlN和W-AlN涂层 | 第24-25页 |
| ·复合金属-AlN涂层 | 第25-26页 |
| ·Mo-Al_2O_3涂层 | 第26-27页 |
| ·Mo-SiO_2涂层 | 第27-31页 |
| 4 选择性吸收涂层基础理论 | 第31-36页 |
| ·介质理论 | 第31页 |
| ·发射系数测量基本原理 | 第31-33页 |
| ·涂层折射率,消光系数的试验方法 | 第33页 |
| ·耐高温及热震试验测试 | 第33-34页 |
| ·分析表征方法 | 第34-36页 |
| ·成分结构分析 | 第34页 |
| ·形貌分析 | 第34-35页 |
| ·厚度测量 | 第35页 |
| ·结合强度分析 | 第35-36页 |
| 5 选择性吸收涂层的模拟计算 | 第36-40页 |
| 6 选择性吸收涂层的制备与分析 | 第40-46页 |
| ·磁控溅射 | 第40-42页 |
| ·磁控溅射简介及工作原理 | 第40-41页 |
| ·磁控溅射沉积的特点 | 第41-42页 |
| ·磁控溅射的应用 | 第42页 |
| ·涂层制备 | 第42-46页 |
| ·W/W-AlN涂层的制备 | 第43-46页 |
| 7 选择性多层膜的分析 | 第46-54页 |
| ·W/W-AlN涂层的分析 | 第46-54页 |
| ·Al靶、W靶伏安特性 | 第46-47页 |
| ·基层W薄膜分析结果 | 第47-49页 |
| ·W-AlN(多层)/W薄膜分析结果 | 第49-50页 |
| ·表层AlN薄膜分析结果 | 第50-52页 |
| ·W/hW-AlN/lW-AlN/AlN分析结果 | 第52-54页 |
| 结论 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-57页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
