| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状及存在问题 | 第10-16页 |
| 1.2.1 国内外研究现状 | 第10-15页 |
| 1.2.1.1 边沿谱啁啾光栅的设计方法 | 第10-13页 |
| 1.2.1.2 线性啁啾相位掩模的曝光方法 | 第13-15页 |
| 1.2.2 存在的问题 | 第15-16页 |
| 1.3 研究目的及思路 | 第16页 |
| 1.4 论文结构安排 | 第16-18页 |
| 第2章 边沿谱啁啾光栅的优化设计方法 | 第18-39页 |
| 2.1 边沿谱啁啾光栅的理论模型 | 第18-24页 |
| 2.1.1 线性啁啾光纤光栅的理论分析 | 第18-23页 |
| 2.1.2 边沿谱啁啾光栅的光谱特性 | 第23-24页 |
| 2.2 离散层剥法设计边沿谱啁啾光栅的误差分析 | 第24-28页 |
| 2.3 边沿谱啁啾光栅的优化设计方法 | 第28-37页 |
| 2.3.1 基于离散层剥法与交叉熵优化算法的优化设计方法 | 第28-29页 |
| 2.3.2 优化设计方法的设计流程 | 第29-33页 |
| 2.3.3 仿真结果及数值分析 | 第33-37页 |
| 2.4 本章小结 | 第37-39页 |
| 第3章 线性啁啾相位掩模的曝光光路优化 | 第39-51页 |
| 3.1 线性啁啾相位掩模的衍射特性 | 第39-40页 |
| 3.2 线性啁啾相位掩模的曝光光路优化设计 | 第40-42页 |
| 3.3 曝光光路的数学模型和参数的数值分析 | 第42-49页 |
| 3.3.1 曝光光路的数学模型 | 第42-46页 |
| 3.3.2 曝光光路参数的数值分析 | 第46-49页 |
| 3.4 本章小结 | 第49-51页 |
| 第4章 总结 | 第51-53页 |
| 参考文献 | 第53-56页 |