自旋转精密磨削过程磨削力控制策略和控制系统研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 符号说明 | 第8-11页 |
| 目录 | 第11-14页 |
| CONTENTS | 第14-18页 |
| 第一章 绪论 | 第18-27页 |
| ·研究背景及意义 | 第18-20页 |
| ·超精密磨削技术 | 第20-21页 |
| ·磨削力控制相关技术国内外研究现状 | 第21-25页 |
| ·自旋转磨削力控制的研究现状 | 第21-23页 |
| ·磨削力控制方法的研究现状 | 第23-25页 |
| ·课题来源 | 第25-26页 |
| ·主要研究内容 | 第26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 第二章 硅片自旋转磨削的磨削力控制策略研究 | 第27-36页 |
| ·硅片自旋转磨削的形式及磨削力特点 | 第27-29页 |
| ·硅片自旋转磨削力控制方法的研究 | 第29-33页 |
| ·自动控制理论的发展及应用 | 第29-30页 |
| ·磨削力控制方法的选择 | 第30-33页 |
| ·自旋转精密磨削过程磨削力控制策略 | 第33-34页 |
| ·硅片自旋转磨削力控制系统总体方案 | 第34-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 硅片自旋转磨削力控制系统硬件设计 | 第36-49页 |
| ·硅片自旋转磨削力控制系统总体性能要求 | 第36-38页 |
| ·磨削力采集部分硬件设计 | 第38-41页 |
| ·磨削力分析及测力仪选型 | 第38-40页 |
| ·数据采集卡的选型 | 第40-41页 |
| ·精密进给部分设计 | 第41-48页 |
| ·精密进给运动的计算 | 第41-42页 |
| ·伺服电机的选型 | 第42-44页 |
| ·齿轮减速器的分析及设计 | 第44-45页 |
| ·滚珠丝杠的分析选型 | 第45-47页 |
| ·运动控制卡的选型 | 第47-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第四章 硅片自旋转磨削力控制系统的建模及仿真 | 第49-80页 |
| ·磨削力控制系统的原理 | 第49-50页 |
| ·精密磨削进给电气部分建模 | 第50-62页 |
| ·伺服电机建模 | 第50-51页 |
| ·电流环数学建模 | 第51-54页 |
| ·速度环数学建模 | 第54-57页 |
| ·精密磨削进给部分的计算及仿真 | 第57-62页 |
| ·磨削进给机构数学建模 | 第62-69页 |
| ·机械进给机构模型 | 第62-64页 |
| ·进给系统传递函数计算 | 第64-69页 |
| ·砂轮轴向进给速度与磨削力关系 | 第69-70页 |
| ·磨削力控制系统开环传递函数 | 第70-72页 |
| ·磨削力控制系统闭环仿真实验 | 第72-79页 |
| ·磨削力控制器设计 | 第72-77页 |
| ·磨削力控制系统闭环仿真及分析 | 第77-79页 |
| ·本章小结 | 第79-80页 |
| 第五章 自旋转磨削力控制系统的软件设计 | 第80-96页 |
| ·磨削力控制系统软件的总体设计 | 第80-83页 |
| ·软件设计的一般原则 | 第80-81页 |
| ·磨削力控制流程 | 第81-82页 |
| ·磨削力控制软件总体结构 | 第82页 |
| ·磨削力控制软件开发环境选择 | 第82-83页 |
| ·磨削力控制系统软件的功能 | 第83-87页 |
| ·初始参数设置模块界面 | 第83-84页 |
| ·磨削力测量模块 | 第84-85页 |
| ·磨削力控制模块 | 第85-86页 |
| ·磨削力数据回放 | 第86-87页 |
| ·磨削力控制系统软件功能的实现 | 第87-92页 |
| ·数据采集及运动控制功能的实现 | 第87-91页 |
| ·控制算法及滤波算法的实现 | 第91-92页 |
| ·软件执行效率分析 | 第92-95页 |
| ·读/写操作效率分析 | 第92-93页 |
| ·界面刷新速度与效率 | 第93-94页 |
| ·执行系统及优先级的分配 | 第94-95页 |
| ·本章小结 | 第95-96页 |
| 第六章 自旋转磨削力控制系统验证实验 | 第96-107页 |
| ·自旋转磨削力控制系统的构成 | 第96-97页 |
| ·自旋转磨削力控制策略验证系统 | 第97-98页 |
| ·自旋转磨削力控制策略实验验证 | 第98-106页 |
| ·实验方案设计 | 第98-101页 |
| ·实验结果与分析 | 第101-106页 |
| ·本章小结 | 第106-107页 |
| 结论与展望 | 第107-109页 |
| 参考文献 | 第109-113页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第113-115页 |
| 致谢 | 第115页 |
