| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-23页 |
| 1.1 前言 | 第11页 |
| 1.2 摩擦 | 第11-13页 |
| 1.2.1 滑动摩擦 | 第11-12页 |
| 1.2.1.1 滑动摩擦机理 | 第12页 |
| 1.2.1.2 粘着摩擦机理 | 第12页 |
| 1.2.1.3 形变摩擦机理 | 第12页 |
| 1.2.2 滚动摩擦 | 第12-13页 |
| 1.3 磨损 | 第13-16页 |
| 1.3.1 粘着磨损 | 第13-14页 |
| 1.3.1.1 粘着磨损机理 | 第13-14页 |
| 1.3.1.2 影响因素 | 第14页 |
| 1.3.1.3 减轻磨损的方法 | 第14页 |
| 1.3.2 磨粒磨损 | 第14-16页 |
| 1.3.2.1 磨粒磨损机理 | 第15-16页 |
| 1.3.2.2 影响因素 | 第16页 |
| 1.3.2.3 减轻磨损的方法 | 第16页 |
| 1.4 抗摩擦磨损研究现状 | 第16-21页 |
| 1.4.1 渗层 | 第16页 |
| 1.4.2 激光熔覆 | 第16-17页 |
| 1.4.3 热喷涂 | 第17页 |
| 1.4.4 化学气相沉积 | 第17-18页 |
| 1.4.5 物理气相沉积 | 第18-21页 |
| 1.4.5.1 真空阴极多弧离子镀 | 第18-19页 |
| 1.4.5.2 物理气相沉积涂层的研究 | 第19-21页 |
| 1.5 主要研究内容 | 第21-23页 |
| 第二章 试验方案及性能评价 | 第23-31页 |
| 2.1 试验方案 | 第23-24页 |
| 2.1.1 材料的选择及热处理 | 第23页 |
| 2.1.2 试样的制备 | 第23-24页 |
| 2.2 薄膜制备 | 第24-26页 |
| 2.2.1 试验设备 | 第24页 |
| 2.2.2 CrN单层膜的制备 | 第24-26页 |
| 2.2.3 Cr/CrN多层膜的制备 | 第26页 |
| 2.3 薄膜性能表征 | 第26-31页 |
| 2.3.1 薄膜表面及截面形貌分析 | 第26页 |
| 2.3.2 相组成分析 | 第26-27页 |
| 2.3.3 薄膜厚度测量 | 第27-28页 |
| 2.3.4 薄膜硬度测量 | 第28页 |
| 2.3.5 膜基结合强度测试 | 第28-30页 |
| 2.3.6 薄膜摩擦磨损性能测试 | 第30-31页 |
| 第三章 CrN单层膜的制备及性能研究 | 第31-47页 |
| 3.1 引言 | 第31页 |
| 3.2 CrN薄膜制备工艺研究 | 第31-40页 |
| 3.2.1 工艺参数对CrN薄膜表面形貌的影响 | 第33-34页 |
| 3.2.2 工艺参数对CrN薄膜厚度的影响 | 第34-36页 |
| 3.2.3 工艺参数对CrN薄膜硬度的影响 | 第36-37页 |
| 3.2.4 工艺参数对CrN薄膜结合力的影响 | 第37-39页 |
| 3.2.5 工艺参数对薄膜磨损率的影响 | 第39-40页 |
| 3.2.6 CrN单层膜制备工艺参数的优化 | 第40页 |
| 3.3 不同厚度CrN单层膜的制备及性能研究 | 第40-45页 |
| 3.3.1 不同厚度CrN单层膜表面及截面形貌分析 | 第41-42页 |
| 3.3.2 不同厚度CrN单层膜硬度分析 | 第42-43页 |
| 3.3.3 不同厚度CrN单层膜结合强度分析 | 第43-44页 |
| 3.3.4 不同厚度CrN单层膜磨损率分析 | 第44-45页 |
| 3.4 本章小结 | 第45-47页 |
| 第四章 Cr/CrN多层膜的制备及性能研究 | 第47-61页 |
| 4.1 引言 | 第47页 |
| 4.2 Cr/CrN多层膜制备工艺研究 | 第47-55页 |
| 4.2.1 Cr/CrN多层膜的表面与截面形貌分析 | 第48-50页 |
| 4.2.2 Cr/CrN多层膜相结构的分析 | 第50页 |
| 4.2.3 调制周期对Cr/CrN多层膜硬度的影响 | 第50-51页 |
| 4.2.4 调制周期对Cr/CrN多层膜与基材结合强度的影响 | 第51-53页 |
| 4.2.5 调制周期对Cr/CrN多层膜磨损率的影响 | 第53-55页 |
| 4.2.6 Cr/CrN多层膜制备工艺优化 | 第55页 |
| 4.3 不同厚度Cr/CrN多层膜的制备及性能研究 | 第55-60页 |
| 4.3.1 Cr/CrN多层膜表面形貌分析 | 第56-57页 |
| 4.3.2 不同厚度Cr/CrN多层膜的硬度分析 | 第57页 |
| 4.3.3 不同厚度Cr/CrN多层膜与基体结合强度分析 | 第57-59页 |
| 4.3.4 不同厚度Cr/CrN多层膜磨损率分析 | 第59-60页 |
| 4.4 本章小结 | 第60-61页 |
| 第五章 厚度对CrN膜层摩擦磨损性能影响及机理研究 | 第61-73页 |
| 5.1 厚度对CrN膜层摩擦磨损性能影响 | 第61-70页 |
| 5.1.1 5μm厚度CrN膜层摩擦磨损性能分析 | 第61-63页 |
| 5.1.2 10μm厚度CrN膜层摩擦磨损性能分析 | 第63-66页 |
| 5.1.3 15μm厚度CrN膜层摩擦磨损性能分析 | 第66-68页 |
| 5.1.4 20μm厚度CrN膜层摩擦磨损性能分析 | 第68-70页 |
| 5.2 CrN膜层摩擦磨损机理 | 第70-71页 |
| 5.3 不同厚度CrN膜层磨损率分析 | 第71-72页 |
| 5.4 本章小结 | 第72-73页 |
| 第六章 结论与展望 | 第73-75页 |
| 6.1 结论 | 第73-74页 |
| 6.2 展望 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-81页 |
| 致谢 | 第81-83页 |
| 附录 攻读硕士学位期间发表论文目录 | 第83页 |
