| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第7-17页 |
| 1.1 太阳电池发展前景 | 第7页 |
| 1.1.1 能源、环境危机 | 第7页 |
| 1.1.2 可再生能源 | 第7页 |
| 1.2 太阳电池发展历史及现状 | 第7-8页 |
| 1.3 太阳电池概述 | 第8-10页 |
| 1.3.1 光生伏特效应 | 第8-9页 |
| 1.3.2 太阳电池基本结构 | 第9页 |
| 1.3.3 太阳电池的性能表征 | 第9-10页 |
| 1.4 生产多晶硅太阳电池的工艺流程 | 第10-11页 |
| 1.5 工艺及测试仪器原理 | 第11-16页 |
| 1.5.1 扩散制pn结 | 第11-12页 |
| 1.5.2 刻蚀周边pn结及清洗磷硅玻璃 | 第12-13页 |
| 1.5.3 减反射原理 | 第13页 |
| 1.5.4 氢钝化原理 | 第13-14页 |
| 1.5.5 薄层电阻的测试 | 第14页 |
| 1.5.6 少子寿命的测试 | 第14页 |
| 1.5.7 椭圆激光偏振仪 | 第14-16页 |
| 1.6 论文选题依据及研究内容 | 第16-17页 |
| 1.6.1 论文选题依据 | 第16页 |
| 1.6.2 研究内容 | 第16-17页 |
| 第二章 多晶硅表面织构和减反射膜的制备及其匹配性能研究 | 第17-28页 |
| 2.1 引言 | 第17页 |
| 2.2 样品的制备 | 第17-19页 |
| 2.2.1 生产设备 | 第18页 |
| 2.2.2 原始硅片 | 第18页 |
| 2.2.3 化学试剂 | 第18-19页 |
| 2.3 样品的制备流程及方法 | 第19-21页 |
| 2.3.1 表面织构的制备 | 第19-20页 |
| 2.3.2 SiN_x减反射膜的制备 | 第20-21页 |
| 2.4 实验结果与分析 | 第21-26页 |
| 2.4.1 表面织构性能的结果与分析 | 第21-24页 |
| 2.4.2 SiN_x薄膜的色差与原因分析 | 第24-25页 |
| 2.4.3 表面织构与减反射膜SiN_x的性能匹配分析 | 第25-26页 |
| 2.5 本章小结 | 第26-28页 |
| 第三章 结论与展望 | 第28-29页 |
| 参考文献 | 第29-31页 |
| 致谢 | 第31页 |