引信用MEMS万向惯性开关的结构设计与优化
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 1 绪论 | 第7-15页 |
| 1.1 课题研究的意义 | 第7-8页 |
| 1.2 MEMS惯性开关的研究现状 | 第8-13页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第8-10页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第10-13页 |
| 1.3 现有MEMS惯性开关的特点 | 第13-14页 |
| 1.4 本文的主要研究内容 | 第14-15页 |
| 2 MEMS万向开关的应用环境及设计要求 | 第15-22页 |
| 2.1 MEMS万向开关在环境中的工作状态分析 | 第15-19页 |
| 2.1.1 勤务处理与装填环境 | 第15-16页 |
| 2.1.2 正常发射环境 | 第16-18页 |
| 2.1.3 飞行环境 | 第18页 |
| 2.1.4 碰目标环境 | 第18-19页 |
| 2.2 MEMS开关的设计目标 | 第19-20页 |
| 2.2.1 万向性要求 | 第19页 |
| 2.2.2 延长闭合时间 | 第19-20页 |
| 2.2.3 闭合阈值 | 第20页 |
| 2.2.4 抗高过载 | 第20页 |
| 2.3 本章小结 | 第20-22页 |
| 3 MEMS万向惯性开关的结构设计 | 第22-39页 |
| 3.1 万向惯性开关的工作原理 | 第22页 |
| 3.2 MEMS万向开关的动力学分析 | 第22-25页 |
| 3.3 弹簧质量系统固有频率分析 | 第25-28页 |
| 3.3.1 固有频率对质量块位移响应的影响 | 第25-28页 |
| 3.3.2 弹簧质量系统固有频率的确定 | 第28页 |
| 3.4 开关结构的优化 | 第28-38页 |
| 3.4.1 前期开关加工的失效形式 | 第28-29页 |
| 3.4.2 优化原则 | 第29-30页 |
| 3.4.3 弹簧质量系统的优化设计 | 第30-33页 |
| 3.4.4 径向电极的设计 | 第33-36页 |
| 3.4.5 轴向电极的设计 | 第36-37页 |
| 3.4.6 止挡结构的设计 | 第37-38页 |
| 3.5 本章小结 | 第38-39页 |
| 4 MEMS万向惯性开关有限元仿真分析 | 第39-53页 |
| 4.1 引言 | 第39页 |
| 4.2 模态仿真分析 | 第39-40页 |
| 4.3 瞬态动力学仿真 | 第40-51页 |
| 4.3.1 开关的万向性分析 | 第40-44页 |
| 4.3.2 开关的响应分析 | 第44-47页 |
| 4.3.3 MEMS开关适应性分析 | 第47-49页 |
| 4.3.4 MEMS开关的抗过载性能 | 第49-51页 |
| 4.3.5 离心力对开关工作的影响 | 第51页 |
| 4.4 本章小结 | 第51-53页 |
| 5 MEMS万向开关加工工艺 | 第53-60页 |
| 5.1 MEMS开关的加工 | 第53-59页 |
| 5.1.1 加工工艺研究 | 第53-56页 |
| 5.1.2 加工误差分析 | 第56页 |
| 5.1.3 加工样品的尺寸检测 | 第56-59页 |
| 5.2 本章小结 | 第59-60页 |
| 6 总结与展望 | 第60-62页 |
| 6.1 全文总结 | 第60-61页 |
| 6.2 论文创新点 | 第61页 |
| 6.3 工作展望 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 附录 | 第67页 |
