高Q值回音壁模式光学微腔研究与实现
| 摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-23页 |
| 1.1 引言 | 第11-14页 |
| 1.2 回音壁模式微谐振腔简介 | 第14-16页 |
| 1.3 回音壁模式微谐振腔应用 | 第16-20页 |
| 1.3.1 高灵敏度光学传感器 | 第16-18页 |
| 1.3.2 低阈值激光器 | 第18-19页 |
| 1.3.3 光通信器件 | 第19-20页 |
| 1.4 微腔高Q值的必要性 | 第20页 |
| 1.5 本论文的主要工作及研究意义 | 第20-23页 |
| 第二章 回音壁模式光学微谐振腔基本理论 | 第23-35页 |
| 2.1 回音壁模式微谐振腔模式分析 | 第23-25页 |
| 2.1.1 回音壁模式的几何光学分析 | 第23-24页 |
| 2.1.2 回音壁模式电磁场理论分析 | 第24-25页 |
| 2.2 回音壁模式微谐振腔主要特征参量 | 第25-29页 |
| 2.2.1 模式体积 | 第25-26页 |
| 2.2.2 谐振波长 | 第26-27页 |
| 2.2.3 品质因子 | 第27页 |
| 2.2.4 自由光谱范围与精细度 | 第27-29页 |
| 2.3 回音壁模式谐振腔耦合理论 | 第29-34页 |
| 2.3.1 回音壁模式微腔耦合方式简介 | 第29-32页 |
| 2.3.2 锥形光纤与球形微腔耦合理论分析 | 第32-34页 |
| 2.4 本章小结 | 第34-35页 |
| 第三章 SOI环形波导谐振腔表面粗糙度建模与分析 | 第35-53页 |
| 3.1 光波导传输损耗分析 | 第35-41页 |
| 3.1.1 光波导辐射损耗 | 第35-38页 |
| 3.1.2 光波导吸收损耗 | 第38-39页 |
| 3.1.3 光波导散射损耗 | 第39-41页 |
| 3.2 光波导表面粗糙度及其建模方法 | 第41-44页 |
| 3.2.1 光波导表面粗糙度概念 | 第41-42页 |
| 3.2.2 光波导表面粗糙度建模 | 第42-44页 |
| 3.3 表面粗糙度对波导及谐振腔特性影响分析 | 第44-51页 |
| 3.3.1 表面粗糙度对直波导传输损耗影响分析 | 第44-48页 |
| 3.3.2 表面粗糙度对谐振腔谐振特性影响分析 | 第48-50页 |
| 3.3.3 光波导谐振腔仿真结果实验验证 | 第50-51页 |
| 3.4 本章小结 | 第51-53页 |
| 第四章 SOI光波导表面形貌表征及氢退火工艺研究 | 第53-65页 |
| 4.1 SOI纳米光波导表面形貌表征方法 | 第53-58页 |
| 4.2 SOI纳米光波导表面后处理光滑化工艺 | 第58-61页 |
| 4.2.1 热氧化光滑工艺 | 第58-59页 |
| 4.2.2 氢退火光滑工艺 | 第59-60页 |
| 4.2.3 其他光滑化处理工艺 | 第60-61页 |
| 4.3 SOI光波导氢退火光滑化机理及实验研究 | 第61-64页 |
| 4.3.1 光波导氢退火光滑化机理研究 | 第61-62页 |
| 4.3.2 光波导氢退火实验 | 第62-64页 |
| 4.4、本章小结 | 第64-65页 |
| 第五章 空心光纤微泡谐振腔制备与特性测试 | 第65-75页 |
| 5.1 光纤微泡谐振腔制备技术简介 | 第65-66页 |
| 5.2 光纤微泡腔膨胀辅助电弧放电方法制备流程 | 第66-71页 |
| 5.3 微泡腔谐振特性测试 | 第71-74页 |
| 5.3.1 拉锥光纤制备 | 第72-73页 |
| 5.3.2 微泡腔谐振特性测试 | 第73-74页 |
| 5.4 总结 | 第74-75页 |
| 第六章 微泡光学谐振腔力学特性分析及其传感应用 | 第75-85页 |
| 6.1 空心微泡腔力学特性Ansys分析 | 第75-77页 |
| 6.2 基于FP干涉的球形微泡应变实验测试 | 第77-81页 |
| 6.2.1 球形微泡FP干涉实验结果 | 第78-80页 |
| 6.2.2 蛋形微泡FP干涉实验结果 | 第80-81页 |
| 6.3 基于锥形光纤耦合实验测试系统 | 第81-82页 |
| 6.4 本章小结 | 第82-85页 |
| 第七章 总结与展望 | 第85-89页 |
| 参考文献 | 第89-105页 |
| 致谢 | 第105-107页 |
| 科研成果 | 第107页 |
