精密柔性运动平台中耦合误差的研究
| 摘要 | 第9-11页 |
| Abstract | 第11-12页 |
| 第1章 绪论 | 第13-21页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第13-14页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第14-18页 |
| 1.2.1 柔性铰链的研究现状 | 第14-15页 |
| 1.2.2 柔性精密运动平台的研究现状 | 第15-17页 |
| 1.2.3 柔性精密运动平台的耦合误差研究 | 第17-18页 |
| 1.3 论文研究内容及结构 | 第18-21页 |
| 第2章 柔性运动平台的结构设计 | 第21-29页 |
| 2.1 引言 | 第21页 |
| 2.2 柔性铰链机构 | 第21-25页 |
| 2.2.1 柔性位移放大机构 | 第21-24页 |
| 2.2.2 柔性运动导向机构 | 第24-25页 |
| 2.3 柔性运动平台综合设计 | 第25-27页 |
| 2.3.1 压电陶瓷预紧机构 | 第25-26页 |
| 2.3.2 对称式杠杆位移放大机构 | 第26-27页 |
| 2.3.3 柔性运动解耦机构 | 第27页 |
| 2.4 总结 | 第27-29页 |
| 第3章 柔性运动平台的运动耦合误差分析 | 第29-45页 |
| 3.1 引言 | 第29页 |
| 3.2 十字型柔性铰链的建模与分析 | 第29-35页 |
| 3.2.1 静力学建模 | 第29-33页 |
| 3.2.2 十字型铰链有限元分析 | 第33-35页 |
| 3.3 柔性运动平台的静力学建模 | 第35-39页 |
| 3.4 柔性运动平台的运动耦合分析 | 第39-41页 |
| 3.5 运动耦合误差的有限元分析 | 第41-43页 |
| 3.6 总结 | 第43-45页 |
| 第4章 柔性运动平台的热固耦合误差分析 | 第45-59页 |
| 4.1 引言 | 第45页 |
| 4.2 柔性铰链的热应变模型 | 第45-55页 |
| 4.3 柔性铰链的热变形仿真 | 第55-56页 |
| 4.4 柔性运动平台的热变形仿真 | 第56-58页 |
| 4.5 总结 | 第58-59页 |
| 第5章 柔性运动平台的实验测试 | 第59-71页 |
| 5.1 引言 | 第59页 |
| 5.2 十字柔性铰链刚度验证 | 第59-60页 |
| 5.3 柔性运动平台解耦性能验证 | 第60-65页 |
| 5.3.1 柔性运动平台 | 第61-62页 |
| 5.3.2 压电陶瓷驱动器 | 第62-63页 |
| 5.3.3 激光干涉仪 | 第63页 |
| 5.3.4 性能验证 | 第63-65页 |
| 5.4 动态特性 | 第65-67页 |
| 5.5 轨迹跟踪实验 | 第67-68页 |
| 5.6 热固耦合误差验证 | 第68-69页 |
| 5.7 本章小结 | 第69-71页 |
| 总结与展望 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-79页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术成果 | 第79-81页 |
| 致谢 | 第81-82页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第82页 |
