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MEMS涂层接触问题的有限元分析

摘要第1-7页
Abstract第7-12页
第1章 绪论第12-22页
   ·本文的研究背景和意义第12-14页
     ·研究背景第12-13页
     ·研究目的和意义第13-14页
   ·国内外研究现状第14-20页
     ·涂层接触力学研究现状第14-15页
     ·涂层粘着接触研究现状第15-19页
     ·涂层分层研究现状第19-20页
     ·微球轴承研究现状第20页
   ·本文研究内容第20-22页
第2章 微球轴承接触问题的有限元研究第22-38页
   ·引言第22页
   ·微球轴承模型第22-24页
     ·微球轴承结构第22-23页
     ·微球轴承有限元模型第23-24页
   ·无涂层微球轴承接触问题有限元研究第24-28页
     ·模型验证第24-25页
     ·微球材料和尺寸对轴承接触性能的影响第25-26页
     ·微球材料密度对轴承接触性能的影响第26-28页
   ·有涂层微球轴承接触问题有限元研究第28-36页
     ·模型验证第28页
     ·微球材料和尺寸对滚道涂层接触性能的影响第28-30页
     ·微球材料密度对侧壁涂层接触性能的影响第30-33页
     ·表面摩擦对滚道涂层接触性能的影响第33-36页
   ·本章结论第36-38页
第3章 考虑涂层-基体分层的弹塑性接触研究第38-52页
   ·引言第38页
   ·涂层-基体系统接触力学模型第38-41页
     ·内聚力模型第38-39页
     ·涂层-基体分层的接触力学模型第39-41页
   ·结果和讨论第41-51页
     ·最大压入深度对涂层-基体分层的影响第42-46页
     ·内聚强度对涂层-基体分层的影响第46-47页
     ·内聚能对涂层-基体分层的影响第47-48页
     ·涂层/基体弹性模量比对涂层-基体分层的影响第48-49页
     ·多次加载卸载循环对涂层-基体分层的影响第49-51页
   ·本章结论第51-52页
第4章 涂层-基体系统弹塑性粘着接触研究第52-72页
   ·引言第52页
   ·涂层-基体系统弹塑性粘着接触模型第52-55页
     ·涂层-基体系统弹塑性粘着接触物理模型第52-53页
     ·涂层-基体系统弹塑性粘着接触有限元模型第53-55页
   ·结果和讨论第55-70页
     ·基体屈服强度对弹塑性粘着接触的影响第56-65页
     ·涂层/基体弹性模量比对弹塑性粘着接触的影响第65-67页
     ·涂层厚度对弹塑性粘着接触的影响第67-68页
     ·多次加载卸载循环对弹塑性粘着接触的影响第68-70页
   ·本章结论第70-72页
第5章 考虑涂层-基体分层的弹塑性粘着接触研究第72-90页
   ·引言第72页
   ·涂层-基体分层的弹塑性粘着接触模型第72-74页
     ·涂层-基体分层的弹塑性粘着接触物理模型第72-73页
     ·涂层-基体分层的弹塑性粘着接触有限元模型第73-74页
   ·结果和讨论第74-88页
     ·压入深度对弹塑性粘着接触分层的影响第75-78页
     ·内聚强度对弹塑性粘着接触分层的影响第78-81页
     ·内聚能对弹塑性粘着接触分层的影响第81-82页
     ·基体屈服强度对弹塑性粘着接触分层的影响第82-84页
     ·涂层/基体弹性模量比对弹塑性粘着接触分层的影响第84-86页
     ·多次加载卸载循环对弹塑性粘着接触分层的影响第86-88页
   ·本章结论第88-90页
结论与展望第90-93页
 1.本文的主要工作及结论第90-91页
 2.创新点第91-92页
 3.研究展望第92-93页
参考文献第93-100页
攻读学位期间发表论文与研究成果清单第100-101页
致谢第101页

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