| 中文摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-18页 |
| ·微机电系统 | 第8-10页 |
| ·微机电系统概述 | 第8-9页 |
| ·微机电系统的发展 | 第9-10页 |
| ·阳极键合技术 | 第10-12页 |
| ·阳极键合技术简介 | 第10-11页 |
| ·阳极键合技术国内外研究动向 | 第11-12页 |
| ·阳极键合在微机电系统中的应用 | 第12-13页 |
| ·导电聚合物材料 | 第13-15页 |
| ·导电聚合物材料简介 | 第13页 |
| ·导电聚合物制备方法及国内外研究动向 | 第13-15页 |
| ·封装用键合材料国内外研究动向 | 第15-17页 |
| ·本文研究的意义 | 第17-18页 |
| 第二章 材料制备方法研究 | 第18-24页 |
| ·阳极键合对所制备材料的要求 | 第18页 |
| ·常见提高离子导电聚合物电导率的方法 | 第18-19页 |
| ·原材料的选择 | 第19页 |
| ·制备方法的选择 | 第19-21页 |
| ·球磨技术简介 | 第21-24页 |
| ·球磨设备介绍 | 第21-22页 |
| ·球磨参数简介 | 第22-24页 |
| 第三章 高能球磨法制备离子导电聚合物及参数分析 | 第24-38页 |
| ·制备方案 | 第24页 |
| ·球磨参数范围的确定 | 第24-25页 |
| ·正交实验法 | 第25-26页 |
| ·全面实验法 | 第26-28页 |
| ·实验中注意事项 | 第28-30页 |
| ·球磨参数对材料导电性的影响 | 第30-33页 |
| ·球磨转速对材料导电性的影响 | 第30-31页 |
| ·球磨时间对材料导电性的影响 | 第31-32页 |
| ·球料比对材料导电性的影响 | 第32-33页 |
| ·球磨参数对材料细化的影响 | 第33-35页 |
| ·球磨转速对材料细化的影响 | 第33-34页 |
| ·球磨时间对材料细化的影响 | 第34-35页 |
| ·无机填料对材料硬度的影响 | 第35-38页 |
| 第四章 材料性能分析 | 第38-46页 |
| ·XRD分析 | 第38-40页 |
| ·DSC分析 | 第40-42页 |
| ·SAXS分析 | 第42-46页 |
| 第五章 所制备离子导电聚合物与铝箔阳极键合实验及分析 | 第46-56页 |
| ·阳极键合实验 | 第46-48页 |
| ·实验材料及设备 | 第46-47页 |
| ·实验步骤 | 第47-48页 |
| ·键合工艺参数对电流-时间曲线的影响 | 第48-50页 |
| ·预设电压对电流-时间曲线的影响 | 第48页 |
| ·预设温度对电流-时间曲线的影响 | 第48-50页 |
| ·键合界面结合性能分析 | 第50-56页 |
| ·键合界面宏观分析 | 第50-51页 |
| ·超景深显微镜观察 | 第51-53页 |
| ·SEM观察及能谱分析 | 第53-56页 |
| 结论 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文及研究成果 | 第62-63页 |