| 中文摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-19页 |
| ·研究背景及意义 | 第8-9页 |
| ·国内外超光滑光学元件表面表征的研究现状 | 第9-17页 |
| ·超光滑光学元件的检测 | 第9-11页 |
| ·超光滑光学元件各频段面形误差的分离 | 第11-12页 |
| ·超光滑光学元件表面表征的参数 | 第12-13页 |
| ·超光滑光学元件表面表征的方法 | 第13-17页 |
| ·论文主要研究内容 | 第17-19页 |
| 第二章 超光滑光学元件表面测量图像预处理 | 第19-31页 |
| ·超光滑光学元件表面测量技术 | 第19-24页 |
| ·超光滑表面瑕疵测量技术 | 第19-20页 |
| ·超光滑表面粗糙度测量技术 | 第20-24页 |
| ·超光滑光学元件测量图像预处理方法 | 第24-29页 |
| ·测量图像中的噪声 | 第24页 |
| ·图像滤波去噪预处理方法 | 第24-25页 |
| ·基于小波图像预处理方法 | 第25-28页 |
| ·图像预处理性能评价 | 第28-29页 |
| ·超光滑光学元件测量图像预处理实例分析 | 第29-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 超光滑光学元件表面中频面形误差提取方法研究 | 第31-43页 |
| ·双树复小波变换的理论基础 | 第32-35页 |
| ·双树复小波变换基本原理 | 第32-33页 |
| ·近似平移不变性 | 第33-34页 |
| ·良好的方向性 | 第34-35页 |
| ·DT-CWT分离光学元件表面中频段面形数学建模 | 第35-37页 |
| ·光学元件表面面形误差分类 | 第35-36页 |
| ·DT-CWT分解基本过程 | 第36-37页 |
| ·仿真与实验分析 | 第37-42页 |
| ·仿真球面光学元件表面三维数据分析 | 第37-39页 |
| ·抛光光学球面一维数据分析 | 第39-40页 |
| ·实测镀膜光学元件表面三维数据分析 | 第40-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 超光滑光学元件表面表征参数评定研究 | 第43-55页 |
| ·传统评价超光滑光学元件表面表征参数 | 第43-46页 |
| ·峰谷值(PV) | 第43-45页 |
| ·均方根值(RMS) | 第45页 |
| ·波前位相梯度(GRMS) | 第45页 |
| ·功率谱密度(PSD) | 第45-46页 |
| ·超光滑光学元件表面三维表征参数 | 第46-52页 |
| ·幅度参数集 | 第47-49页 |
| ·空间参数集 | 第49-50页 |
| ·综合参数集 | 第50-51页 |
| ·分形参数 | 第51-52页 |
| ·实际超光滑光学镀膜表面三维参数表征 | 第52-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第五章 超光滑光学元件表面表征参数与光学性能的关系研究 | 第55-64页 |
| ·超光滑光学元件光学性能评价 | 第56-58页 |
| ·表面散射理论 | 第56-57页 |
| ·光学传递函数定义 | 第57-58页 |
| ·三维表征参数与光学性能光学传递函数关系探讨 | 第58-63页 |
| ·表征三维参数之间关系探讨 | 第59-60页 |
| ·均方根偏差与光学性能光学传递函数关系探讨 | 第60-62页 |
| ·分形参数与超光滑光学性能光学传递函数关系探讨 | 第62-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 结论与展望 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 个人简介 | 第73页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第73-74页 |