| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-20页 |
| ·微机电系统（MEMS）概述 | 第9-14页 |
| ·MEMS 技术的特点 | 第9-10页 |
| ·MEMS 制造技术 | 第10-12页 |
| ·MEMS 技术在光学开关中的应用 | 第12-14页 |
| ·MEMS 国内外研究概况 | 第14-17页 |
| ·MEMS 产品的国内外发展概况 | 第14-16页 |
| ·MEMS 光学开关的国内外发展概况 | 第16-17页 |
| ·论文研究的目的和意义 | 第17-18页 |
| ·论文的主要内容 | 第18-20页 |
| 第2章 MEMS 光学开关耦合场分析 | 第20-31页 |
| ·光学开关的工作原理 | 第20页 |
| ·静电力分析 | 第20-24页 |
| ·吸合效应 | 第20-23页 |
| ·“负”弹簧效应 | 第23-24页 |
| ·惯性力场分析 | 第24-27页 |
| ·空气阻尼分析 | 第27-30页 |
| ·小结 | 第30-31页 |
| 第3章 MEMS 光学开关的设计 | 第31-42页 |
| ·光学开关结构的建立 | 第31-34页 |
| ·光学开关的工艺流程 | 第31-32页 |
| ·光学开关的系统级模型搭建 | 第32-33页 |
| ·结构参数设计 | 第33页 |
| ·模型的三维显示 | 第33-34页 |
| ·机电耦合分析 | 第34-38页 |
| ·机械-静电-光路分析 | 第38-41页 |
| ·小结 | 第41-42页 |
| 第4章 光学开关的系统级分析 | 第42-65页 |
| ·CoventorWare 软件简介 | 第42-44页 |
| ·电压-角位移分析 | 第44-47页 |
| ·电压-角位移分析 | 第44-46页 |
| ·瞬态时域分析 | 第46-47页 |
| ·谐波分析 | 第47-48页 |
| ·灵敏度分析 | 第48-50页 |
| ·有限元法的结构优化分析 | 第50-57页 |
| ·结构优化分析 | 第50-54页 |
| ·系统级法的结构优化分析 | 第54-57页 |
| ·频域分析 | 第57-60页 |
| ·结构模态分析 | 第57-59页 |
| ·交流小信号分析 | 第59-60页 |
| ·阻尼分析 | 第60-62页 |
| ·蒙特卡洛分析 | 第62-63页 |
| ·小结 | 第63-65页 |
| 第5章 光学开关角位移伺服分析 | 第65-71页 |
| ·常规非线性系统的解决策略 | 第65-66页 |
| ·通过 Conventor 自带程序包解决非线性控制 | 第66-69页 |
| ·小结 | 第69-71页 |
| 结论 | 第71-73页 |
| 研究工作总结 | 第71-72页 |
| 下一步工作展望 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-77页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文和获得的科研成果 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |