| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-9页 |
| 目录 | 第9-13页 |
| 符号说明 | 第13-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-19页 |
| ·论文的研究背景和意义 | 第14-15页 |
| ·论文的结构安排 | 第15-17页 |
| 参考文献 | 第17-19页 |
| 第二章 基于微纳结构集成光探测器的研究进展 | 第19-56页 |
| ·微纳结构的研究进展及应用 | 第19-31页 |
| ·微环谐振腔的研究进展及应用 | 第19-26页 |
| ·亚波长光栅的研究进展及应用 | 第26-31页 |
| ·光探测器的研究进展 | 第31-35页 |
| ·垂直入射型光探测器(VPD) | 第31-33页 |
| ·边入射型光探测器(WGPD) | 第33-35页 |
| ·基于微纳结构集成光探测器的研究进展 | 第35-46页 |
| ·基于微环结构的集成光探测器 | 第35-39页 |
| ·基于光栅结构的集成光探测器 | 第39-41页 |
| ·基于AWG结构的集成光探测器 | 第41-42页 |
| ·基于Fabry-Perot结构的集成光探测器 | 第42-46页 |
| ·光子集成的发展及其在WDM光纤通信中的应用 | 第46-49页 |
| ·光子集成的简介 | 第46-47页 |
| ·光子集成的发展 | 第47-48页 |
| ·光子集成在WDM光纤通信中的应用 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-56页 |
| 第三章 InP基长波长波导探测器的研究与制备 | 第56-89页 |
| ·前言 | 第56-57页 |
| ·波导探测器(WGPD)的基本原理 | 第57-60页 |
| ·WGPD的性能参数 | 第60-64页 |
| ·量子效率和响应度 | 第60-61页 |
| ·响应速度和3dB带宽 | 第61-62页 |
| ·噪声性能和暗电流 | 第62-64页 |
| ·InP基长波长WGPD性能仿真 | 第64-66页 |
| ·InP基长波长WGPD的材料生长 | 第66-68页 |
| ·InP基长波长WGPD外延片的质量测试 | 第68-70页 |
| ·X射线双晶衍射仪(XRD) | 第68-69页 |
| ·荧光光谱(PL)仪 | 第69-70页 |
| ·InP基长波长WGPD的制备工艺 | 第70-79页 |
| ·WGPD的版图设计 | 第70-76页 |
| ·器件的制作工艺 | 第76-79页 |
| ·InP基长波长波导探测器的性能测试 | 第79-85页 |
| ·器件暗电流的测试 | 第80-82页 |
| ·器件光谱响应测试 | 第82-84页 |
| ·器件频率响应测试 | 第84-85页 |
| ·本章小结 | 第85-86页 |
| 参考文献 | 第86-89页 |
| 第四章 基于Fabry-Perot腔滤波的波导探测器研究 | 第89-118页 |
| ·GaAs基Fabry-Perot腔与InP基波导探测器集成(一) | 第89-98页 |
| ·Fabry-Perot理论计算模型 | 第89-93页 |
| ·Fabry-Perot腔透射谱的实验验证结果 | 第93-94页 |
| ·Fabry-Perot腔与InP基波导探测器集成 | 第94-95页 |
| ·器件的测试 | 第95-98页 |
| ·GaAs基Fabry-Perot腔与InP基波导探测器集成(二) | 第98-110页 |
| ·前言 | 第98页 |
| ·器件的基本结构 | 第98-99页 |
| ·器件的理论分析 | 第99-101页 |
| ·器件的外延生长 | 第101页 |
| ·器件的制备工艺 | 第101-106页 |
| ·器件的测试及讨论 | 第106-110页 |
| ·Si基Fabry-Perot腔滤波的光探测器设计 | 第110-115页 |
| ·前言 | 第110页 |
| ·Si基F-P腔结构设计及仿真 | 第110-112页 |
| ·Si基F-P腔与光探测器集成设计 | 第112-113页 |
| ·仿真结果与讨论 | 第113-115页 |
| ·本章小结 | 第115-116页 |
| 参考文献 | 第116-118页 |
| 第五章 微环谐振腔滤波器的研究 | 第118-136页 |
| ·前言 | 第118页 |
| ·微环谐振腔基本理论 | 第118-124页 |
| ·微环谐振腔结构 | 第118-119页 |
| ·微环谐振腔耦合理论 | 第119-124页 |
| ·微环谐振腔的耦合系数 | 第124-125页 |
| ·微环谐振腔性能参数 | 第125-127页 |
| ·微环滤波器的设计 | 第127-129页 |
| ·微环滤波器的制作 | 第129-130页 |
| ·微环滤波器的测试 | 第130-134页 |
| ·微环滤波器测试系统搭建 | 第130-131页 |
| ·微环滤波器性能测试 | 第131-134页 |
| ·本章小结 | 第134-135页 |
| 参考文献 | 第135-136页 |
| 第六章 基于微环谐振腔滤波的波导探测研究 | 第136-155页 |
| ·具有微环谐振腔结构的WGPD设计 | 第136-144页 |
| ·前言 | 第136页 |
| ·理论计算与特性分析 | 第136-139页 |
| ·材料生长和器件制备 | 第139-140页 |
| ·器件的集成设计 | 第140-141页 |
| ·实验测试和结果分析 | 第141-143页 |
| ·结论 | 第143-144页 |
| ·具有跑道谐振腔结构的WGPD设计 | 第144-149页 |
| ·前言 | 第144页 |
| ·跑道谐振腔理论 | 第144-146页 |
| ·器件的设计 | 第146-147页 |
| ·结果与讨论 | 第147-149页 |
| ·结论 | 第149页 |
| ·本章小结 | 第149-151页 |
| 参考文献 | 第151-155页 |
| 第七章 总结 | 第155-157页 |
| 致谢 | 第157-159页 |
| 攻读博士学位期间发表的学术论文 | 第159-160页 |
