压痕/划痕测试若干理论与基于自制仪器的试验研究
| 项目资助 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-14页 |
| 第1章 绪论 | 第14-30页 |
| ·研究背景 | 第14-15页 |
| ·压痕/划痕测试研究进展概述 | 第15页 |
| ·离位压痕/划痕测试研究进展与发展趋势 | 第15-21页 |
| ·仪器研制研究进展 | 第15-17页 |
| ·仪器应用与功能扩展研究进展 | 第17-20页 |
| ·离位压痕/划痕测试发展趋势 | 第20-21页 |
| ·原位 SEM 压痕/划痕测试研究进展与发展趋势 | 第21-28页 |
| ·仪器研制研究进展 | 第22-24页 |
| ·仪器应用研究进展 | 第24-27页 |
| ·现存问题与发展趋势 | 第27-28页 |
| ·本文主要研究内容 | 第28-30页 |
| 第2章 压痕/划痕测试数据的分析方法与影响因素 | 第30-54页 |
| ·压痕测试经典数据分析方法 | 第30-33页 |
| ·划痕测试数据分析方法 | 第33-34页 |
| ·压痕测试结果的影响因素 | 第34-52页 |
| ·残余压入深度 hf确定方法 | 第35-38页 |
| ·试件表面处理方法 | 第38-41页 |
| ·压头与试件表面之间的倾斜 | 第41-52页 |
| ·本章小结 | 第52-54页 |
| 第3章 压痕/划痕测试仪器的设计分析 | 第54-80页 |
| ·压痕/划痕测试仪器概述 | 第54-55页 |
| ·测试仪器基础结构设计 | 第55-56页 |
| ·压痕测试模块 | 第56-73页 |
| ·精密驱动单元 | 第56-61页 |
| ·精密检测单元 | 第61-62页 |
| ·压痕测试模块 | 第62-70页 |
| ·压痕测试模块性能测试 | 第70-73页 |
| ·划痕测试模块 | 第73-77页 |
| ·划痕测试用传感器原理与结构设计 | 第73-75页 |
| ·划痕测试用传感器解耦分析 | 第75-76页 |
| ·划痕测试用传感器的标定 | 第76-77页 |
| ·本章小结 | 第77-80页 |
| 第4章 压痕/划痕测试仪器的典型应用 | 第80-100页 |
| ·单晶硅卸载突退现象的统计学分析 | 第80-84页 |
| ·预拉应力下单晶硅压痕响应 | 第84-89页 |
| ·拉应力加载单元结构设计 | 第84-86页 |
| ·拉应力加载单元输出特性 | 第86-87页 |
| ·预拉应力影响单晶硅压痕响应 | 第87-89页 |
| ·非晶合金压痕过程中压头几何尺寸效应 | 第89-94页 |
| ·压头类型影响非晶合金压痕曲线 | 第89-90页 |
| ·压痕测试参数影响粘附力大小 | 第90-91页 |
| ·压痕诱导非晶合金出现粘附力机制分析 | 第91-94页 |
| ·非晶合金的划痕测试 | 第94-97页 |
| ·非晶合金划痕力学行为 | 第94-95页 |
| ·非对称划入诱导非晶合金非对称变形 | 第95-97页 |
| ·本章小结 | 第97-100页 |
| 第5章 原位压痕/划痕测试仪器的设计与试验研究 | 第100-124页 |
| ·原位压痕测试仪器的设计分析 | 第100-102页 |
| ·测试原理 | 第100-101页 |
| ·测试仪器的设计分析 | 第101-102页 |
| ·原位压痕测试仪器的试验研究 | 第102-107页 |
| ·试件宏动调整单元输出特性 | 第102-103页 |
| ·闭环控制特性 | 第103-105页 |
| ·仪器柔度校准 | 第105页 |
| ·SEM 内材料原位压痕试验 | 第105-107页 |
| ·原位压痕/划痕测试仪器设计 | 第107-116页 |
| ·测试仪器初步结构 | 第107-113页 |
| ·原位压痕/划痕测试仪器样机与试验系统 | 第113-116页 |
| ·原位压痕/划痕试验研究 | 第116-122页 |
| ·压头与试件表面间的摩擦 | 第116-118页 |
| ·切屑堆积条件下材料去除机理研究 | 第118-122页 |
| ·本章小结 | 第122-124页 |
| 第6章 结论 | 第124-128页 |
| 参考文献 | 第128-144页 |
| 附录 | 第144-148页 |
| 作者简介与攻读学位期间的主要研究成果 | 第148-156页 |
| 一、作者简介 | 第148页 |
| 二、主要研究成果 | 第148-156页 |
| 致谢 | 第156页 |
