| 目录 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-20页 |
| ·课题研究背景 | 第9-10页 |
| ·晶圆测试相关介绍 | 第10-11页 |
| ·国内外晶圆测试相关技术发展概况 | 第11-16页 |
| ·国内外晶圆片的发展概况 | 第11-13页 |
| ·国内外晶圆测试产业发展概况 | 第13-14页 |
| ·国内外晶圆测试探针台发展概况 | 第14-15页 |
| ·国内外晶圆自动传输系统的发展概况 | 第15-16页 |
| ·结构设计仿真方法的应用概况 | 第16-17页 |
| ·Pro/Mechanism在运动仿真中的应用概况 | 第16页 |
| ·ANSYS在静动态仿真及结构优化中的应用概况 | 第16-17页 |
| ·课题主要研究内容 | 第17-20页 |
| 第二章 晶圆测试自动传输系统的总体方案设计 | 第20-25页 |
| ·引言 | 第20页 |
| ·自动传输系统的运动分配与构成 | 第20-21页 |
| ·自动传输系统的总体方案 | 第21-23页 |
| ·自动传输系统的工作原理 | 第23-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 晶圆测试自动传输系统的结构功能设计 | 第25-48页 |
| ·引言 | 第25页 |
| ·片盒承载台(LOADER)的功能设计 | 第25-35页 |
| ·升降机构的设计 | 第25-33页 |
| ·升降台的设计 | 第26-27页 |
| ·传动系统的设计 | 第27-33页 |
| ·片盒加紧与定位机构的设计 | 第33-35页 |
| ·机械手转动台(TURNTABLE)的功能设计 | 第35-40页 |
| ·机械手部件及相关传动的设计 | 第36-38页 |
| ·机械手部件的设计 | 第36-37页 |
| ·相关传动的设计 | 第37-38页 |
| ·预对准机构的设计 | 第38-40页 |
| ·晶圆测试台(CHUCK UNIT)的功能设计 | 第40-44页 |
| ·X、Y向运动机构的设计 | 第41-42页 |
| ·Z向运动与转动机构的设计 | 第42-43页 |
| ·顶针机构的设计 | 第43-44页 |
| ·气动机构的功能设计 | 第44-46页 |
| ·晶圆测试自动传输系统的总体结构 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第四章 自动传输系统机械手的运动学分析与轨迹规划 | 第48-62页 |
| ·引言 | 第48页 |
| ·自动传输系统机械手的运动学分析 | 第48-51页 |
| ·自动传输系统机械手的轨迹规划 | 第51-59页 |
| ·机械手运动路径的确定 | 第51-52页 |
| ·移动关节轨迹规划 | 第52-54页 |
| ·旋转关节轨迹规划 | 第54-56页 |
| ·最优时间-冲击的轨迹规划 | 第56-59页 |
| ·基于PRO/MECHANISM自动传输系统机械手的运动仿真 | 第59-61页 |
| ·机构运动模型的建立 | 第59页 |
| ·机械手运动仿真与结果分析 | 第59-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第五章 机械手部件动态特性的数值仿真与实验研究 | 第62-73页 |
| ·引言 | 第62页 |
| ·模态特性分析 | 第62-63页 |
| ·模态特性分析方法 | 第62-63页 |
| ·机械手部件模态特性分析的必要性 | 第63页 |
| ·基于ANSYS环境机械手部件模态特性的数值仿真 | 第63-66页 |
| ·机械手部件有限元模型的建立 | 第63-64页 |
| ·机械手部件模态特性的仿真与结果 | 第64-66页 |
| ·基于LMS测振仪机械手部件模态特性的实验研究 | 第66-71页 |
| ·实验仪器介绍 | 第66-67页 |
| ·模态实验准备 | 第67-69页 |
| ·模态实验过程与结果 | 第69-71页 |
| ·仿真结果与实验结果对比分析 | 第71-72页 |
| ·本章小结 | 第72-73页 |
| 第六章 晶圆测试自动传输系统机械手的结构优化 | 第73-83页 |
| ·引言 | 第73页 |
| ·基于ANSYS环境的机械手-晶圆系统静力分析 | 第73-75页 |
| ·机械手的结构优化设计 | 第75-78页 |
| ·机械手结构优化方案 | 第75-76页 |
| ·不同方案机械手-晶圆系统的静力分析对比 | 第76-78页 |
| ·优化前后机械手动态特性对比 | 第78-82页 |
| ·原机械手结构的动态特性 | 第78-80页 |
| ·优化后机械手结构的动态特性 | 第80-81页 |
| ·优化前后结构动态特性的对比分析 | 第81-82页 |
| ·本章小结 | 第82-83页 |
| 第七章 总结与展望 | 第83-85页 |
| ·论文总结 | 第83-84页 |
| ·工作展望 | 第84-85页 |
| 参考文献 | 第85-89页 |
| 致谢 | 第89-91页 |
| 硕士期间发表的论文 | 第91页 |