| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-24页 |
| ·引言 | 第10页 |
| ·透明导电氧化物(TCO)薄膜的研究概况与发展趋势 | 第10-15页 |
| ·TCO薄膜的透明导电机理 | 第10-12页 |
| ·TCO薄膜的体系 | 第12-14页 |
| ·TCO薄膜的应用与研究进展 | 第14-15页 |
| ·ZnO基透明导电薄膜研究进展 | 第15-20页 |
| ·氧化锌的结构 | 第15-16页 |
| ·氧化锌基透明导电薄膜的掺杂机制 | 第16-18页 |
| ·铝掺杂氧化锌薄膜的性能 | 第18-19页 |
| ·铝掺杂氧化锌薄膜的研究进展 | 第19-20页 |
| ·透明导电薄膜的制备方法 | 第20-22页 |
| ·选题依据及主要研究内容 | 第22-24页 |
| 第二章 实验内容与方法 | 第24-30页 |
| ·实验原料与设备 | 第24-25页 |
| ·溶胶凝胶法实验部分 | 第25-26页 |
| ·前驱体溶液的制备 | 第25页 |
| ·薄膜制备工艺流程 | 第25-26页 |
| ·溶胶凝胶-水热法和溶胶凝胶-溶剂热法的实验部分 | 第26页 |
| ·前驱体溶液的制备 | 第26页 |
| ·实验制备过程 | 第26页 |
| ·实验测试方法 | 第26-30页 |
| ·前驱体溶液性能测试 | 第26-27页 |
| ·晶体结构及微观形貌测试 | 第27页 |
| ·光学性能测试 | 第27-28页 |
| ·薄膜电学性能测试 | 第28-30页 |
| 第三章 溶胶凝胶法制备铝掺杂氧化锌薄膜 | 第30-52页 |
| ·化学体系的选择 | 第30-37页 |
| ·前驱体 | 第30页 |
| ·溶剂 | 第30-33页 |
| ·稳定剂 | 第33-36页 |
| ·添加剂 | 第36-37页 |
| ·前驱体溶胶粒子形成过程 | 第37-41页 |
| ·前驱体溶液的化学反应机理 | 第37-39页 |
| ·前驱体溶液粒子形成过程 | 第39-41页 |
| ·前驱体凝胶的热分解与晶化过程 | 第41-42页 |
| ·热处理制度的确定 | 第42-50页 |
| ·前期热处理 | 第43-46页 |
| ·后期热处理 | 第46-50页 |
| ·本章小结 | 第50-52页 |
| 第四章 不同影响因素对铝掺杂氧化锌薄膜的影响 | 第52-70页 |
| ·铝掺杂浓度的影响 | 第52-57页 |
| ·旋涂法制备铝掺杂氧化锌薄膜 | 第52-55页 |
| ·提拉法制备铝掺杂氧化锌薄膜 | 第55-57页 |
| ·不同镀膜方式的影响 | 第57-61页 |
| ·单层镀膜与多层镀膜 | 第57-59页 |
| ·提拉法与旋涂法 | 第59-61页 |
| ·混合溶剂的影响 | 第61-64页 |
| ·前驱体溶液浓度的影响 | 第64-66页 |
| ·气氛热处理对薄膜的影响 | 第66-68页 |
| ·本章小结 | 第68-70页 |
| 第五章 ZnO：Al薄膜生长机理分析及低温生长ZnO：Al薄膜浅探 | 第70-88页 |
| ·氧化锌薄膜晶核形成与晶粒长大过程 | 第70-73页 |
| ·低温生长氧化锌薄膜 | 第73-86页 |
| ·溶胶凝胶-水热法制备氧化锌薄膜 | 第73-76页 |
| ·溶胶凝胶-水热法制备铝掺杂氧化锌薄膜 | 第76-83页 |
| ·溶胶凝胶-水热法制备铝掺杂氧化锌薄膜的生长过程浅析 | 第83-84页 |
| ·溶胶凝胶-溶剂热法制备铝掺杂氧化锌薄膜 | 第84-86页 |
| ·本章小结 | 第86-88页 |
| 第六章 全文总结及展望 | 第88-90页 |
| ·文总结 | 第88-89页 |
| ·展望 | 第89-90页 |
| 参考文献 | 第90-97页 |
| 致谢 | 第97-99页 |
| 个人简历 | 第99-101页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文与取得的其它研究成果 | 第101页 |
