| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 致谢 | 第7-10页 |
| 插图清单 | 第10-11页 |
| 表格清单 | 第11-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-29页 |
| ·引言 | 第12-16页 |
| ·结构陶瓷简介 | 第12页 |
| ·常见的几种 SiC 复相封装陶瓷 | 第12-14页 |
| ·低介电材料研究意义 | 第14-15页 |
| ·降低介电常数的途径 | 第15-16页 |
| ·SiC 结构、性质、应用 | 第16-19页 |
| ·SiC 的结构 | 第16-17页 |
| ·SiC 的性能与用途 | 第17-19页 |
| ·纳米 SiO_28 | 第19-22页 |
| ·纳米 SiO_2的结构与性质 | 第19-21页 |
| ·纳米 SiO_2的实际应用 | 第21-22页 |
| ·SiC/SiO_2复合材料制备方法及性能研究现状 | 第22-24页 |
| ·机械混合法 | 第22-23页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第23页 |
| ·浸渍法 | 第23页 |
| ·化学气相沉积法（CVD） | 第23-24页 |
| ·磁控溅射 | 第24页 |
| ·超细粉体表面包覆机理及方法简介 | 第24-26页 |
| ·超细粉体表面包覆机理 | 第24-25页 |
| ·超细粉体表面包覆方法简介 | 第25-26页 |
| ·喷雾造粒技术简介 | 第26-27页 |
| ·喷雾造粒技术及原理 | 第26-27页 |
| ·课题的研究内容目的意义 | 第27-29页 |
| ·本课题的研究目的和意义 | 第27-28页 |
| ·研究内容 | 第28-29页 |
| 第二章 实验部分 | 第29-33页 |
| ·实验原料和设备 | 第29-30页 |
| ·实验原料 | 第29页 |
| ·实验主要设备 | 第29-30页 |
| ·实验方案 | 第30-31页 |
| ·机械球磨法制备 SiO_2/SiC 复合材料工艺流程 | 第30页 |
| ·喷雾造粒法制备 SiO_2/SiC 复合材料工艺流程 | 第30-31页 |
| ·样品测试与表征 | 第31-33页 |
| ·X 射线衍射分析（XRD） | 第31页 |
| ·扫描电子显微镜分析（SEM） | 第31页 |
| ·能谱分析（EDS） | 第31页 |
| ·激光粒度分析 | 第31-32页 |
| ·介电性能测试 | 第32-33页 |
| 第三章 机械球磨法制备 SiC/SiO_2复合材料及其介电性能 | 第33-41页 |
| ·引言 | 第33页 |
| ·实验过程 | 第33-34页 |
| ·SiC/SiO_2 复合材料制备 | 第33页 |
| ·性能表征 | 第33-34页 |
| ·结果与讨论 | 第34-40页 |
| ·球磨 SiC 原料与 SiC/SiO_2复合粉体的 SEM 表征及激光粒度分析 | 第34-35页 |
| ·SiC/SiO_2复合粉体的 EDS 表征 | 第35-36页 |
| ·烧结特性 | 第36-37页 |
| ·XRD 分析 | 第37-38页 |
| ·烧结试样 SEM 表征 | 第38-39页 |
| ·介电性能分析 | 第39-40页 |
| ·本章结论 | 第40-41页 |
| 第四章 SiC/SiO_2复合粉体的喷雾造粒工艺及其烧结体的介电性能 | 第41-53页 |
| ·引言 | 第41页 |
| ·SiC/SiO_2 喷雾造粒工艺探究 | 第41-46页 |
| ·浆料的制备 | 第41-42页 |
| ·样品的表征 | 第42页 |
| ·结果与讨论 | 第42-46页 |
| ·小结 | 第46页 |
| ·喷雾造粒制备 SiC/SiO_2复合粉体及其介电性能 | 第46-52页 |
| ·样品制备 | 第46-47页 |
| ·样品表征 | 第47页 |
| ·结果与讨论 | 第47-52页 |
| ·球磨自制的 SiC 粉体及造粒粉体的 SEM 表征 | 第47-48页 |
| ·烧结特性 | 第48-49页 |
| ·烧结试样的 SEM 表征 | 第49-50页 |
| ·XRD 分析 | 第50-51页 |
| ·介电性能分析 | 第51页 |
| ·小结 | 第51-52页 |
| ·本章结论 | 第52-53页 |
| 第五章 全文总结 | 第53-55页 |
| 参考文献 | 第55-59页 |
| 攻读硕士学位期间的主要学术成果 | 第59-60页 |
