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高频声表面波滤波器的纳米压印技术制备研究

摘要第1-5页
Abstract第5-8页
1 绪论第8-14页
   ·声表面波技术简介第8页
   ·课题的背景和意义第8-9页
   ·声表面波滤波器研究现状第9-11页
   ·纳米压印技术制作SAW 滤波器的现状第11-13页
   ·本课题的研究内容第13-14页
2 声表面波带通滤波器的设计第14-44页
   ·带通滤波器基本结构与原理第14-15页
   ·叉指换能器理论与模型第15-28页
   ·理想SAW 带通滤波器的设计第28-33页
   ·窗口函数设计法第33-43页
   ·本章小结第43-44页
3 纳米压印制备声表面波带通滤波器的研究第44-59页
   ·基片材料选择第44-45页
   ·模板的制备及防粘第45-47页
   ·纳米压印制备声表面波滤波器的研究第47-58页
   ·本章小结第58-59页
4 总结与展望第59-61页
   ·总结第59页
   ·存在的问题及展望第59-61页
致谢第61-62页
参考文献第62-66页
附录1 攻读硕士学位期间发表论文目录第66页

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