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碳化硅外延石墨烯工艺探讨及石墨烯微观摩擦学性能研究

摘要第1-4页
ABSTRACT第4-7页
第一章 绪论第7-11页
   ·课题背景及其研究意义第7-8页
   ·研究现状和国内外发展趋势第8页
   ·论文的研究目的和工作安排第8-11页
第二章 石墨烯的制备与表征第11-17页
   ·石墨烯材料特点第11-13页
     ·石墨烯的基本结构第11-12页
     ·石墨烯的电学性质及其应用第12-13页
   ·石墨烯的制备第13-14页
     ·微机械剥离法第13页
     ·化学气相沉积法(CVD 法)第13页
     ·氧化-还原法第13页
     ·碳化硅外延石墨烯法第13-14页
   ·石墨烯的表征第14-15页
     ·石墨烯的 Raman 表征第14-15页
     ·石墨烯的 AFM 表征第15页
   ·本章总结第15-17页
第三章 碳化硅高温外延石墨烯的工艺过程及其表征第17-33页
   ·碳化硅高温外延石墨烯的机制第17-18页
   ·碳化硅高温外延石墨烯的工艺过程第18-19页
   ·碳化硅高温外延石墨烯第19-31页
     ·6H-SiC(0001)外延大面积石墨烯第19-22页
     ·6H-SiC(000-1)外延大面积石墨烯第22-25页
     ·4H-SiC 外延大面积石墨烯第25-28页
     ·碳化硅盖帽对形成石墨烯的影响第28-31页
   ·本章总结第31-33页
第四章 碳化硅衍生碳制备碳薄膜第33-41页
   ·碳化硅衍生碳制备碳薄膜的机制第33页
   ·6H-SiC 衍生碳制备碳薄膜的工艺过程第33-34页
   ·6H-SiC 衍生碳制备碳薄膜第34-38页
   ·Cu 片盖帽诱导碳原子重组形成石墨烯第38-39页
   ·本章总结第39-41页
第五章 碳化硅高温外延石墨烯的微观摩擦学性能第41-49页
   ·6H-SiC 硅面高温外延石墨烯的微观摩擦学性能第41-45页
     ·石墨烯的制备和微观摩擦性能测试第41-42页
     ·结果及其分析第42-45页
   ·6H-SiC 碳面高温外延石墨烯的微观摩擦学性能第45-48页
     ·石墨烯的制备和微观摩擦性能测试第45-46页
     ·结果及其分析第46-48页
   ·本章总结第48-49页
第六章 总结与展望第49-51页
致谢第51-53页
参考文献第53-57页
攻读硕士学位期间的研究成果第57-58页

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