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溶液沉积平整化法优化金属基带表面平整度的工艺研究

摘要第1-6页
ABSTRACT第6-10页
第一章 概述第10-26页
   ·超导材料的简介第10-11页
     ·超导体的发现与发展第10-11页
     ·高温超导材料的应用第11页
   ·YBCO 涂层导体的结构第11-12页
   ·缓冲层制备技术及金属基带的选择第12-13页
   ·抛光工艺简介第13-21页
     ·机械抛光第13-15页
     ·化学抛光第15-16页
     ·化学机械抛光第16-17页
     ·电解抛光第17页
     ·超声波抛光第17-18页
     ·射流抛光第18-19页
     ·磁研磨抛光第19页
     ·溶液沉积平整化第19-21页
   ·缓冲层第21-22页
   ·YBCO 超导层第22-24页
   ·国内外研究现状第24页
   ·论文的选题依据与研究方案第24-26页
第二章 实验方法与原理第26-40页
   ·SDP 法简介第26页
   ·材料体系的选取第26-27页
   ·实验原料及仪器第27-29页
     ·化学试剂第27-28页
     ·实验设备和器材第28页
     ·合金基带第28-29页
   ·SDP 工艺流程第29-34页
     ·实验器皿与基带的清洗处理第30-31页
     ·前驱体溶液的配制第31-32页
     ·前驱液的涂覆第32-34页
     ·热处理第34页
   ·测试分析方法第34-40页
     ·X 射线衍射第35-36页
     ·原子力显微镜第36-38页
     ·扫描电子显微镜第38-40页
第三章 SDP 法制备非晶薄膜的工艺研究第40-69页
   ·化学药品的选择第40-42页
   ·基带的焊接第42页
   ·前驱液稳定性第42-44页
   ·氧化钇非晶薄膜的工艺参数研究及 YBCO 薄膜的制备第44-53页
     ·前驱液浓度和热处理温度对氧化钇非晶薄膜的影响第44-49页
     ·薄膜层数对氧化钇非晶薄膜的影响第49-50页
     ·氧化钇非晶薄膜对 YBCO 超导薄膜的影响第50-53页
   ·钇铝混合氧化物非晶薄膜的工艺参数研究及 IBAD-MGO 的制备第53-60页
     ·前驱液浓度和热处理温度对钇铝混合氧化物非晶薄膜的影响第53-57页
     ·薄膜层数对钇铝混合氧化物非晶薄膜的影响第57-58页
     ·钇铝混合氧化物非晶薄膜上的 IBAD 沉积实验第58-60页
   ·二氧化硅非晶薄膜的工艺参数研究第60-66页
     ·前驱液浓度和热处理温度对二氧化硅非晶薄膜的影响第60-65页
     ·薄膜层数对二氧化硅非晶薄膜的影响第65-66页
   ·SDP 薄膜上的 ISD 沉积实验第66-68页
     ·氧化钇非晶薄膜上沉积 ISD-MgO 薄膜第66-67页
     ·钇铝混合氧化物非晶薄膜上沉积 ISD-MgO 薄膜第67页
     ·二氧化硅非晶薄膜上沉积 ISD-MgO 薄膜第67-68页
   ·本章小结第68-69页
第四章 结论第69-70页
致谢第70-71页
参考文献第71-75页
攻硕期间取得的研究成果第75-76页

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