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HFCVD钛基硼掺杂金刚石膜电化学电极制备及性能研究

中文摘要第1-6页
Abstract第6-11页
第一章 绪论第11-22页
   ·概述第11页
   ·金刚石结构第11-12页
   ·人工合成金刚石的发展过程和性质及其在实际中的应用第12-15页
     ·人工合成金刚石的历史发展过程第12-13页
     ·金刚石的优异性质及其在实际中的应用第13-15页
   ·CVD 金刚石薄膜的成核及生长机理第15-17页
     ·碳的 P-T 相图第16页
     ·成核过程第16-17页
     ·CVD 金刚石薄膜生长第17页
   ·影响 CVD 金刚石薄膜生长的几个主要因素第17-19页
     ·衬底材料第17-18页
     ·衬底预处理第18页
     ·实验参数第18-19页
   ·硼掺杂金刚石(BDD)薄膜电极在污水处理方面的应用第19-21页
     ·BDD 薄膜电极的优势第19-20页
     ·BDD 薄膜电极衬底材料的选择第20-21页
   ·论文的选题及主要内容第21-22页
第二章 CVD 金刚石薄膜沉积技术及其表征手段第22-26页
   ·CVD 金刚石薄膜沉积技术简介第22-24页
     ·热丝 CVD 法(HFCVD)第22-23页
     ·微波等离子体 CVD 法(MPCVD)第23页
     ·直流热阴极等离子体 CVD 法(DC-PCVD)第23-24页
     ·直流弧光放电等离子体 CVD 法第24页
   ·CVD 金刚石薄膜的常用表征手段第24-26页
     ·光学显微镜第24-25页
     ·扫描电子显微镜(SEM)第25页
     ·X 光衍射(XRD)第25页
     ·激光拉曼光谱(Raman)第25-26页
第三章 HFCVD 法制备 Ti/BDD 电极及其性质表征第26-45页
   ·HFCVD 设备介绍及其主要操作步骤第26-28页
     ·HFCVD 设备介绍第26-27页
     ·HFCVD 设备主要操作步骤第27-28页
   ·制备硼掺杂金刚石时所使用的硼源第28-29页
   ·衬底的预处理第29-30页
   ·无偏压时对 Ti/BDD 薄膜生长条件的优化第30-37页
     ·甲烷流量对 BDD 膜形貌及品质的影响第31-34页
     ·硼流量对 BDD 膜形貌及品质的影响第34-37页
   ·加偏压时偏压参数对 BDD 膜质量的影响第37-41页
     ·偏压对 BDD 膜质量的影响第37-39页
     ·加偏压与无偏压时的比较第39-41页
   ·泡沫钛衬底上生长 BDD 薄膜第41-44页
   ·本章小结第44-45页
第四章 Ti/BDD 电极的电化学特性及其应用第45-54页
   ·引言第45-46页
   ·Ti/BDD 电极的电化学性质表征第46-50页
   ·低浓度苯酚溶液的降解实验第50-53页
   ·本章小结第53-54页
第五章 全文总结第54-56页
参考文献第56-62页
致谢第62页

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