| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| ·引言 | 第9页 |
| ·控制技术在半导体电子厂房中的发展与应用 | 第9-12页 |
| ·半导体电子厂房系统和控制系统要求 | 第12-14页 |
| ·全文各章节内容及安排 | 第14-16页 |
| 第2章 现场总线技术 | 第16-34页 |
| ·现场总线技术简介 | 第16-20页 |
| ·现场总线技术的产生与发展 | 第16-18页 |
| ·现场总线的特点 | 第18-20页 |
| ·几种流行的现场总线技术 | 第20-24页 |
| ·FF现场总线 | 第20-21页 |
| ·LonWorks现场总线 | 第21-22页 |
| ·Profibus现场总线 | 第22-23页 |
| ·CAN现场总线 | 第23-24页 |
| ·HART | 第24页 |
| ·基金会现场总线(Foundation Fieldbus,FF) | 第24-30页 |
| ·基金会现场总线(FF)通信模型 | 第24-26页 |
| ·FF现场总线物理层 | 第26-28页 |
| ·FF现场总线数据链路层 | 第28页 |
| ·FF现场总线应用层 | 第28页 |
| ·FF现场总线用户层与功能块应用 | 第28-30页 |
| ·Modbus串口通信方式 | 第30-32页 |
| ·DeviceNet通信方式 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第3章 控制系统总体设计原则及仪表选型 | 第34-46页 |
| ·电子厂房系统介绍 | 第34-38页 |
| ·厂房控制系统的总体设计 | 第38-40页 |
| ·仪表选型 | 第40-44页 |
| ·OPC软件 | 第44-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第4章 控制系统结构 | 第46-53页 |
| ·控制系统的设备构成 | 第46-49页 |
| ·SCADA系统(工程师站和操作站) | 第46-47页 |
| ·系统控制网络 | 第47-48页 |
| ·控制器、I/O卡件以及通讯卡件 | 第48-49页 |
| ·现场控制仪表 | 第49页 |
| ·控制系统的软件 | 第49-52页 |
| ·组态软件 | 第49-51页 |
| ·控制软件 | 第51页 |
| ·操作软件 | 第51-52页 |
| ·诊断软件 | 第52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第5章 控制系统的控制策略 | 第53-60页 |
| ·常规控制方案 | 第53页 |
| ·简单控制系统 | 第53-54页 |
| ·串级控制系统 | 第54-56页 |
| ·选择控制系统 | 第56-57页 |
| ·分程控制系统 | 第57-58页 |
| ·顺序控制功能 | 第58页 |
| ·本章小结 | 第58-60页 |
| 第6章 总结和展望 | 第60-62页 |
| ·本文主要工作总结 | 第60页 |
| ·进一步工作展望 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 附录 | 第66页 |