| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-17页 |
| ·MEMS概述 | 第7-10页 |
| ·MEMS及其特点 | 第7-8页 |
| ·MEMS存在的问题 | 第8-9页 |
| ·MEMS加工工艺 | 第9-10页 |
| ·MEMS的应用 | 第10页 |
| ·微驱动器简介 | 第10-15页 |
| ·微驱动器工作原理 | 第11-14页 |
| ·微驱动器的加工技术 | 第14页 |
| ·微驱动器的分类 | 第14-15页 |
| ·微驱动器研究与发展现状 | 第15页 |
| ·论文的意义与所做主要工作 | 第15-17页 |
| 第二章 微驱动器模型的建立及原理 | 第17-25页 |
| ·微驱动器模型及工作原理 | 第17-18页 |
| ·微驱动器设计原理 | 第18-22页 |
| ·压杆失稳(屈曲) | 第18-19页 |
| ·杆的轴向拉伸与压缩 | 第19-20页 |
| ·纵横弯曲 | 第20-21页 |
| ·静电驱动原理 | 第21-22页 |
| ·微驱动器结构与参数设计 | 第22-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 微驱动器静力分析 | 第25-43页 |
| ·欧拉临界力公式及适用范围 | 第25-27页 |
| ·欧拉临界力公式 | 第25-26页 |
| ·微梁临界力适用范围验证 | 第26-27页 |
| ·微梁临界力计算与屈曲分析 | 第27-29页 |
| ·微梁临界力计算 | 第27-28页 |
| ·微梁屈曲分析 | 第28-29页 |
| ·微梁轴向力与横向力分析计算 | 第29-41页 |
| ·纵横弯曲组合变形公式及轴向力 | 第29-31页 |
| ·横向力及位移变化图 | 第31-33页 |
| ·外构架内壁间距的确定与轴向力分析 | 第33-36页 |
| ·外加载荷对驱动器位移影响分析 | 第36-41页 |
| ·本章小结 | 第41-43页 |
| 第四章 微驱动器模态及动力耦合分析 | 第43-65页 |
| ·COMSOL Mulltiphysics软件简介 | 第43-44页 |
| ·微驱动器的模态分析 | 第44-49页 |
| ·模态分析简介 | 第44-45页 |
| ·微驱动器模态分析 | 第45-49页 |
| ·微驱动器动力耦合分析 | 第49-63页 |
| ·微驱动器动力耦合仿真建模 | 第49-52页 |
| ·微驱动器耦合仿真分析 | 第52-63页 |
| ·本章小结 | 第63-65页 |
| 第五章 总结与展望 | 第65-67页 |
| ·论文工作总结 | 第65页 |
| ·论文不足与展望 | 第65-67页 |
| 致谢 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 作者在读期间科研成果 | 第73-75页 |
| 附录 | 第75-81页 |