直流磁控溅射电源的研制
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 第一章 课题背景和电源总体设计 | 第11-15页 |
| ·磁控溅射的分类及脉冲磁控溅射对电源要求 | 第11-12页 |
| ·国内外研究动态情况及目前水平 | 第12-13页 |
| ·本文设计的电源各项指标及本文研究的主要内容 | 第13-14页 |
| ·直流磁控溅射电源的总体设计 | 第14-15页 |
| 第二章 主电路设计 | 第15-43页 |
| ·输入输出整流滤波电路参数设计 | 第15-19页 |
| ·三相整流桥的选择 | 第15-16页 |
| ·输入滤波电容设计 | 第16-17页 |
| ·输入滤波电感设计 | 第17页 |
| ·输出滤波电感设计 | 第17-18页 |
| ·输出滤波电容设计 | 第18页 |
| ·输出整流二极管的选取 | 第18-19页 |
| ·三相可控硅整流电路 | 第19-29页 |
| ·三相可控硅整流电路控制原理 | 第20-22页 |
| ·三相可控硅整流电路仿真 | 第22-24页 |
| ·可控硅触发板的控制原理 | 第24-28页 |
| ·三相可控硅触发软件流程 | 第28-29页 |
| ·主电路开关管及其驱动保护 | 第29-34页 |
| ·主电路拓扑结构选择和主电路设计 | 第29-30页 |
| ·IGBT驱动和过流保护电路 | 第30-34页 |
| ·高频变压器设计 | 第34-41页 |
| ·变压器磁芯材料的选择 | 第34-36页 |
| ·变压器磁芯的选型 | 第36-37页 |
| ·绕组导体截面积计算 | 第37-38页 |
| ·变压器原副边匝数计算 | 第38-39页 |
| ·磁芯窗口校核 | 第39页 |
| ·变压器损耗计算 | 第39-40页 |
| ·温升计算 | 第40-41页 |
| ·隔直电容的计算 | 第41页 |
| ·本章小结 | 第41-43页 |
| 第三章 单片机控制保护系统设计 | 第43-58页 |
| ·PIC16F917单片机介绍 | 第43-44页 |
| ·PWM与电压控制电路 | 第44-47页 |
| ·SG3525结构框图和主要特点 | 第44-45页 |
| ·SG3525的工作原理 | 第45-46页 |
| ·电压控制原理 | 第46-47页 |
| ·AD590测温 | 第47-49页 |
| ·D/A转换电路 | 第49-51页 |
| ·串行数模转换器TLC5615介绍及原理 | 第49-50页 |
| ·D/A转换软件设计 | 第50-51页 |
| ·HD7279键盘和数码显示 | 第51-52页 |
| ·单片机通讯电路设计 | 第52-54页 |
| ·控制保护电路设计 | 第54-57页 |
| ·输出过电流保护 | 第54-55页 |
| ·IGBT过电流保护 | 第55页 |
| ·散热器温度保护 | 第55页 |
| ·IGBT直通保护 | 第55-56页 |
| ·相序/缺相保护 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第四章 单片机通讯 | 第58-68页 |
| ·通讯协议 | 第58-61页 |
| ·异步串行通讯协议 | 第58-60页 |
| ·CAN总线通讯协议 | 第60-61页 |
| ·PIC16F917的USART通讯 | 第61-63页 |
| ·USART发送子程序 | 第61-62页 |
| ·USART接收子程序 | 第62页 |
| ·USART的Proteus仿真 | 第62-63页 |
| ·PIC16F917的CAN总线通讯 | 第63-67页 |
| ·SPI串口通信流程及仿真 | 第63-65页 |
| ·CAN总线报文的发送与接收 | 第65-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 第五章 电源系统实验 | 第68-71页 |
| ·实验波形分析 | 第68-70页 |
| ·PWM波形分析 | 第68-69页 |
| ·三相可控硅整流实验波形分析 | 第69-70页 |
| ·电源系统的数据测量及分析 | 第70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 第六章 结论 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-75页 |
| 附录 实物图 | 第75-76页 |
| 在学研究成果 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77页 |
