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CVD曲面金刚石膜和单晶金刚石的制备及性质研究

内容提要第1-5页
中文摘要第5-7页
Abstract第7-13页
第一章 绪论第13-23页
   ·金刚石的结构特征、性质及应用第13-18页
     ·金刚石的晶体结构第13-14页
     ·金刚石的分类第14页
     ·金刚石的性质及应用第14-18页
   ·金刚石(膜)的发展历史第18-20页
   ·CVD 金刚石的主要制备方法第20-22页
  1 热灯丝 CVD 法第20-21页
  2 微波等离子体 CVD 法第21页
  3 直流等离子体喷射 CVD 法第21-22页
   ·论文的选题及主要研究内容第22-23页
第二章 实验设备及表征方法第23-29页
   ·微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置第23-24页
     ·本论文采用的 MPCVD 装置介绍第23页
     ·MPCVD 法制备曲面金刚石膜的工艺第23-24页
     ·MPCVD 法制备大尺寸单晶金刚石的工艺第24页
   ·射频磁控溅射系统第24-26页
   ·高压反应釜第26页
   ·CVD 金刚石的表征技术第26-29页
  1、光学显微镜第26页
  2、扫描电子显微镜第26-27页
  3、激光拉曼光谱第27页
  4、X 射线衍射谱第27页
  5、光致发光光谱第27-28页
  6、原子力显微镜第28-29页
第三章 CVD 曲面金刚石自支撑膜的生长及性质第29-45页
   ·各因素对 CVD 曲面金刚石膜生长的影响第29-40页
  1、碳源浓度对 CVD 曲面金刚石膜生长的影响第29-30页
  2、微波功率对 CVD 曲面金刚石膜生长的影响第30页
  3、压强对 CVD 曲面金刚石膜生长的影响第30-31页
  4、衬底材料对 CVD 曲面金刚石膜生长的影响第31-40页
   ·光学级 CVD 曲面金刚石自支撑膜的制备第40-43页
   ·本章小结第43-45页
第四章 曲面金刚石膜生长 ZnO 纳米棒及 TiO2纳米管第45-57页
   ·实验过程第46-48页
     ·CVD 曲面金刚石膜的制备第46页
     ·水热法制备 ZnO 纳米棒阵列第46-47页
     ·液相沉积法制备 TiO2第47页
     ·样品表征第47-48页
   ·实验结论与分析第48-52页
     ·ZnO 纳米棒的形貌及结构第48-49页
     ·TiO_2纳米管的形貌及结构第49-51页
     ·CVD 曲面金刚石膜上制备 TiO2纳米管的反应机制第51-52页
   ·TiO_2纳米管/CVD 曲面金刚石膜光催化性能的研究第52-55页
   ·本章小结第55-57页
第五章 CVD 单晶金刚石的生长及应用第57-71页
   ·N_2/O_2对 CVD 单晶金刚石生长的影响第57-60页
   ·CO_2对 CVD 单晶金刚石生长的影响第60-63页
   ·N_2O 对 CVD 单晶金刚石生长的影响第63-66页
   ·高温低压氢等离子体退火对 CVD 单晶金刚石的影响第66-67页
   ·大尺寸 CVD 单晶金刚石的获得及应用实例第67-69页
     ·高质量 CVD 单晶金刚石的生长第67-68页
     ·CVD 单晶金刚石的应用第68-69页
   ·本章小结第69-71页
第六章 全文总结第71-73页
参考文献第73-83页
作者简介第83-85页
攻读博士期间发表论文及专利第85-87页
致谢第87页

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