| 中文摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-27页 |
| ·MAGFET 磁传感器研究现状 | 第10-15页 |
| ·MAGFET 磁传感器国内研究现状 | 第11-13页 |
| ·MAGFET 磁传感器国外研究现状 | 第13-15页 |
| ·多晶硅薄膜晶体管磁传感器研究现状 | 第15-17页 |
| ·纳米硅薄膜晶体管研究现状 | 第17-23页 |
| ·玻璃衬底纳米硅薄膜晶体管研究现状 | 第18-22页 |
| ·柔韧性衬底纳米硅薄膜晶体管研究现状 | 第22-23页 |
| ·高迁移率纳米硅薄膜研究现状 | 第23-25页 |
| ·纳米硅薄膜晶体管磁传感器研究目的和意义 | 第25-26页 |
| ·研究目的 | 第25页 |
| ·研究意义 | 第25-26页 |
| ·论文主要研究内容 | 第26-27页 |
| 第2章 纳米硅薄膜晶体管磁传感器基本结构与工作原理 | 第27-38页 |
| ·纳米硅薄膜晶体管磁传感器基本结构 | 第27页 |
| ·纳米硅薄膜晶体管磁传感器工作原理 | 第27-36页 |
| ·霍尔效应 | 第28-29页 |
| ·纳米硅薄膜晶体管工作原理 | 第29-32页 |
| ·纳米硅薄膜晶体管磁传感器工作原理 | 第32-36页 |
| ·本章小结 | 第36-38页 |
| 第3章 纳米硅薄膜制备与特性研究 | 第38-50页 |
| ·纳米硅薄膜结构及其能带图 | 第38-41页 |
| ·纳米硅薄膜结构 | 第38-40页 |
| ·纳米硅薄膜能带图 | 第40-41页 |
| ·纳米硅薄膜制备 | 第41-42页 |
| ·纳米硅薄膜特性研究 | 第42-48页 |
| ·XRD 分析 | 第42-45页 |
| ·Raman 光谱分析 | 第45-46页 |
| ·AFM 分析 | 第46-48页 |
| ·本章小结 | 第48-50页 |
| 第4章 纳米硅薄膜晶体管磁传感器特性仿真 | 第50-58页 |
| ·ATLAS 器件仿真系统 | 第50-52页 |
| ·纳米硅薄膜晶体管磁传感器特性仿真分析 | 第52-57页 |
| ·仿真模型 | 第52-53页 |
| ·特性仿真结果 | 第53-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第5章 纳米硅薄膜晶体管磁传感器芯片制作与封装 | 第58-62页 |
| ·纳米硅薄膜晶体管磁传感器芯片制作工艺 | 第58-59页 |
| ·纳米硅薄膜晶体管磁传感器芯片版图 | 第59-60页 |
| ·纳米硅薄膜晶体管磁传感器芯片封装 | 第60-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第6章 实验结果与讨论 | 第62-81页 |
| ·纳米硅薄膜晶体管 I_(DS)-V_(DS)特性 | 第62-64页 |
| ·纳米硅薄膜晶体管磁传感器不等位电势 | 第64-66页 |
| ·纳米硅薄膜晶体管磁传感器磁特性 | 第66-68页 |
| ·纳米硅薄膜晶体管磁传感器静态特性 | 第68-80页 |
| ·线性度 | 第68-76页 |
| ·重复性 | 第76-77页 |
| ·迟滞 | 第77-78页 |
| ·准确度 | 第78-79页 |
| ·灵敏度 | 第79-80页 |
| ·本章小结 | 第80-81页 |
| 结论 | 第81-83页 |
| 参考文献 | 第83-92页 |
| 致谢 | 第92-93页 |
| 攻读学位期间发表论文 | 第93页 |
| 攻读学位期间科研项目 | 第93页 |